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Nanoskalige Oberflächenstrukturierung mittels Atomlagenabscheidung

Sobel, Nicolas and Hess, Christian (2015):
Nanoskalige Oberflächenstrukturierung mittels Atomlagenabscheidung.
In: Angewandte Chemie, 127 (50), pp. 15226-15233, ISSN 00448249,
[Online-Edition: http://dx.doi.org/10.1002/ange.201503680],
[Article]

Item Type: Article
Erschienen: 2015
Creators: Sobel, Nicolas and Hess, Christian
Title: Nanoskalige Oberflächenstrukturierung mittels Atomlagenabscheidung
Language: German
Journal or Publication Title: Angewandte Chemie
Volume: 127
Number: 50
Divisions: 07 Department of Chemistry > Physical Chemistry
07 Department of Chemistry
Date Deposited: 06 Nov 2015 15:48
Official URL: http://dx.doi.org/10.1002/ange.201503680
Identification Number: doi:10.1002/ange.201503680
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