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Entwurf und Realisierung eines überlastfesten kapazitiven Silizium-Primärsensors als Messelement für hochempfindliche Differenzdruck-Prozesssensoren

Kober, Timo (2015)
Entwurf und Realisierung eines überlastfesten kapazitiven Silizium-Primärsensors als Messelement für hochempfindliche Differenzdruck-Prozesssensoren.
Technische Universität Darmstadt
Dissertation, Bibliographie

Typ des Eintrags: Dissertation
Erschienen: 2015
Autor(en): Kober, Timo
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: Entwurf und Realisierung eines überlastfesten kapazitiven Silizium-Primärsensors als Messelement für hochempfindliche Differenzdruck-Prozesssensoren
Sprache: Deutsch
Referenten: Werthschützky, Prof. Dr.- Roland
Publikationsjahr: 2015
Ort: München
Verlag: Dr. Hut
Reihe: Mikro- und Sensortechnik ; 32
Zusätzliche Informationen:

Zugl.: Darmstadt, Techn. Univ., Diss. 2014

Fachbereich(e)/-gebiet(e): 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mess- und Sensortechnik
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018)
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Hinterlegungsdatum: 11 Jun 2015 10:23
Letzte Änderung: 04 Nov 2015 13:57
PPN:
Referenten: Werthschützky, Prof. Dr.- Roland
Export:
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