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Entwurf und Realisierung eines überlastfesten kapazitiven Silizium-Primärsensors als Messelement für hochempfindliche Differenzdruck-Prozesssensoren

Kober, Timo (2015):
Entwurf und Realisierung eines überlastfesten kapazitiven Silizium-Primärsensors als Messelement für hochempfindliche Differenzdruck-Prozesssensoren.
In: Mikro- und Sensortechnik ; 32, München, Dr. Hut, TU Darmstadt, ISBN 3-8439-1932-1 ; 978-3-8439-1932-6,
[Ph.D. Thesis]

Item Type: Ph.D. Thesis
Erschienen: 2015
Creators: Kober, Timo
Title: Entwurf und Realisierung eines überlastfesten kapazitiven Silizium-Primärsensors als Messelement für hochempfindliche Differenzdruck-Prozesssensoren
Language: German
Series Name: Mikro- und Sensortechnik ; 32
Place of Publication: München
Publisher: Dr. Hut
ISBN: 3-8439-1932-1 ; 978-3-8439-1932-6
Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design > Measurement and Sensor Technology
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
Date Deposited: 11 Jun 2015 10:23
Additional Information:

Zugl.: Darmstadt, Techn. Univ., Diss. 2014

Referees: Werthschützky, Prof. Dr.- Roland
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