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50 nm continuously tunable MEMS VCSEL devices with surface micromachining operating at 1.95 µm emission wavelength

Gründl, T. ; Zogal, K. ; Debernardi, P. ; Gierl, C. ; Grasse, C. ; Geiger, K. ; Meyer, R. ; Boehm, G. ; Amann, M.-C. ; Meissner, P. ; Küppers, F. (2013)
50 nm continuously tunable MEMS VCSEL devices with surface micromachining operating at 1.95 µm emission wavelength.
In: Semiconductor Science and Technology, 28 (01)
Artikel, Bibliographie

Typ des Eintrags: Artikel
Erschienen: 2013
Autor(en): Gründl, T. ; Zogal, K. ; Debernardi, P. ; Gierl, C. ; Grasse, C. ; Geiger, K. ; Meyer, R. ; Boehm, G. ; Amann, M.-C. ; Meissner, P. ; Küppers, F.
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: 50 nm continuously tunable MEMS VCSEL devices with surface micromachining operating at 1.95 µm emission wavelength
Sprache: Englisch
Publikationsjahr: 2013
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: Semiconductor Science and Technology
Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: 28
(Heft-)Nummer: 01
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Mikrowellentechnik und Photonik (IMP) > Photonik und Optische Nachrichtentechnik
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Mikrowellentechnik und Photonik (IMP)
Hinterlegungsdatum: 16 Mär 2015 16:37
Letzte Änderung: 16 Mär 2015 16:37
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