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Modelling of growth in a 5 X 3 inch multiwafer metalorganic vapour phase epitaxy reactor

Bergunde, T. ; Durst, F. ; Kadinski, L. ; Makarov, Yu N. ; Schäfer, M. ; Weyers, M. (1994)
Modelling of growth in a 5 X 3 inch multiwafer metalorganic vapour phase epitaxy reactor.
In: Journal of crystal growth, 145 (1)
Artikel, Bibliographie

Typ des Eintrags: Artikel
Erschienen: 1994
Autor(en): Bergunde, T. ; Durst, F. ; Kadinski, L. ; Makarov, Yu N. ; Schäfer, M. ; Weyers, M.
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: Modelling of growth in a 5 X 3 inch multiwafer metalorganic vapour phase epitaxy reactor
Sprache: Englisch
Publikationsjahr: 1994
Verlag: Elsevier
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: Journal of crystal growth
Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: 145
(Heft-)Nummer: 1
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 16 Fachbereich Maschinenbau
16 Fachbereich Maschinenbau > Fachgebiet für Numerische Berechnungsverfahren im Maschinenbau (FNB)
Hinterlegungsdatum: 27 Mär 2014 10:52
Letzte Änderung: 11 Jul 2018 13:31
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