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Numerische Simulation von Beschichtungsprozessen in CVD-Reaktoren

Durst, F. ; Kadinski, L. ; Schäfer, M. :
Numerische Simulation von Beschichtungsprozessen in CVD-Reaktoren.
In: VDI Berichte 960 .
[Konferenz- oder Workshop-Beitrag], (1992)

Typ des Eintrags: Konferenz- oder Workshop-Beitrag (Keine Angabe)
Erschienen: 1992
Autor(en): Durst, F. ; Kadinski, L. ; Schäfer, M.
Titel: Numerische Simulation von Beschichtungsprozessen in CVD-Reaktoren
Sprache: Deutsch
Buchtitel: Kongressbericht Gerätetechnik und Mikrosystemtechnik
Reihe: VDI Berichte 960
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Maschinenbau > Numerische Berechnungsverfahren im Maschinenbau
Fachbereich Maschinenbau
Hinterlegungsdatum: 24 Mär 2014 16:28
Zusätzliche Informationen:

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