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Numerische Simulation von Beschichtungsprozessen in CVD-Reaktoren

Durst, F. ; Kadinski, L. ; Schäfer, M. (1992)
Numerische Simulation von Beschichtungsprozessen in CVD-Reaktoren.
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Typ des Eintrags: Konferenzveröffentlichung
Erschienen: 1992
Autor(en): Durst, F. ; Kadinski, L. ; Schäfer, M.
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: Numerische Simulation von Beschichtungsprozessen in CVD-Reaktoren
Sprache: Deutsch
Publikationsjahr: 1992
Buchtitel: Kongressbericht Gerätetechnik und Mikrosystemtechnik
Reihe: VDI Berichte 960
Zusätzliche Informationen:

VDI-Verlag

Fachbereich(e)/-gebiet(e): 16 Fachbereich Maschinenbau > Fachgebiet für Numerische Berechnungsverfahren im Maschinenbau (FNB)
16 Fachbereich Maschinenbau
Hinterlegungsdatum: 24 Mär 2014 16:28
Letzte Änderung: 24 Mär 2014 16:28
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