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Numerische Simulation von Beschichtungsprozessen in CVD-Reaktoren

Durst, F. ; Kadinski, L. ; Schäfer, M. (1992):
Numerische Simulation von Beschichtungsprozessen in CVD-Reaktoren.
In: VDI Berichte 960, In: Kongressbericht Gerätetechnik und Mikrosystemtechnik, pp. 111-120,
[Conference or Workshop Item]

Item Type: Conference or Workshop Item
Erschienen: 1992
Creators: Durst, F. ; Kadinski, L. ; Schäfer, M.
Title: Numerische Simulation von Beschichtungsprozessen in CVD-Reaktoren
Language: German
Title of Book: Kongressbericht Gerätetechnik und Mikrosystemtechnik
Series Name: VDI Berichte 960
Divisions: 16 Department of Mechanical Engineering > Institute of Numerical Methods in Mechanical Engineering (FNB)
16 Department of Mechanical Engineering
Date Deposited: 24 Mar 2014 16:28
Additional Information:

VDI-Verlag

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