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Herstellung freitragender Mikrostrukturen aus SU-8.

Eicher, D. and Schlaak, Helmut F. (2007):
Herstellung freitragender Mikrostrukturen aus SU-8.
In: VDE/GMM-Fachbericht Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik , Bd. 53 (2007) , S. 41-47., [Book Section]

Item Type: Book Section
Erschienen: 2007
Creators: Eicher, D. and Schlaak, Helmut F.
Title: Herstellung freitragender Mikrostrukturen aus SU-8.
Language: German
Title of Book: VDE/GMM-Fachbericht Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik , Bd. 53 (2007) , S. 41-47.
Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design > Microtechnology and Electromechanical Systems
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design
Date Deposited: 19 Nov 2008 16:02
License: [undefiniert]
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