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Herstellung freitragender Mikrostrukturen aus SU-8.

Eicher, D. ; Schlaak, Helmut F. :
Herstellung freitragender Mikrostrukturen aus SU-8.
In: VDE/GMM-Fachbericht Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik , Bd. 53 (2007) , S. 41-47.
[Buchkapitel], (2007)

Typ des Eintrags: Buchkapitel
Erschienen: 2007
Autor(en): Eicher, D. ; Schlaak, Helmut F.
Titel: Herstellung freitragender Mikrostrukturen aus SU-8.
Sprache: Deutsch
Buchtitel: VDE/GMM-Fachbericht Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik , Bd. 53 (2007) , S. 41-47.
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme
Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 16:02
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