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Integration und Charakterisierung von Nanostrukturen in Mikrosysteme für sensorische Anwendungen

Quednau, Sebastian ; Dassinger, Florian ; Hottes, Martin ; Stegmann, Christian ; Schlaak, Helmut F. ; Ensinger, Wolfgang (2014)
Integration und Charakterisierung von Nanostrukturen in Mikrosysteme für sensorische Anwendungen.
Mikrosystemtechnik Kongress . Aachen (10/14/2013-10/16/2013)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Typ des Eintrags: Konferenzveröffentlichung
Erschienen: 2014
Autor(en): Quednau, Sebastian ; Dassinger, Florian ; Hottes, Martin ; Stegmann, Christian ; Schlaak, Helmut F. ; Ensinger, Wolfgang
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: Integration und Charakterisierung von Nanostrukturen in Mikrosysteme für sensorische Anwendungen
Sprache: Deutsch
Publikationsjahr: 27 Januar 2014
Ort: Aachen
Buchtitel: MikroSystemTechnik Kongress 2013
Veranstaltungstitel: Mikrosystemtechnik Kongress
Veranstaltungsort: Aachen
Veranstaltungsdatum: 10/14/2013-10/16/2013
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft
11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft > Fachgebiet Materialanalytik
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018)
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme
11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Hinterlegungsdatum: 04 Feb 2014 10:00
Letzte Änderung: 04 Feb 2014 10:00
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