Quednau, Sebastian ; Schlaak, Helmut F. ; Völklein, Friedemann (2013)
Numerical Simulation of a MEMS Pirani Vacuum Sensor.
AMA Conferences 2013. Nürnberg
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Konferenzveröffentlichung |
|---|---|
| Erschienen: | 2013 |
| Autor(en): | Quednau, Sebastian ; Schlaak, Helmut F. ; Völklein, Friedemann |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Numerical Simulation of a MEMS Pirani Vacuum Sensor |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 14 Mai 2013 |
| Ort: | Nürnberg |
| Buchtitel: | Proceedings SENSOR 2013 |
| Veranstaltungstitel: | AMA Conferences 2013 |
| Veranstaltungsort: | Nürnberg |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018) 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik |
| Hinterlegungsdatum: | 04 Feb 2014 10:01 |
| Letzte Änderung: | 19 Apr 2016 08:42 |
| PPN: | |
| Export: | |
| Suche nach Titel in: | TUfind oder in Google |
 |
Frage zum Eintrag |
Optionen (nur für Redakteure)
 |
Redaktionelle Details anzeigen |
Drucken
Impressum