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Herstellung von robusten und kostengünstigen Nickel-Wanderkeilaktoren

Lämmle, David ; Schlosser, Michael ; Schlaak, Helmut F. (2013)
Herstellung von robusten und kostengünstigen Nickel-Wanderkeilaktoren.
Mikrosystemtechnik Kongress 2013. Aachen ( 14.-16- Oktober 2013)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Typ des Eintrags: Konferenzveröffentlichung
Erschienen: 2013
Autor(en): Lämmle, David ; Schlosser, Michael ; Schlaak, Helmut F.
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: Herstellung von robusten und kostengünstigen Nickel-Wanderkeilaktoren
Sprache: Deutsch
Publikationsjahr: 14 Oktober 2013
Veranstaltungstitel: Mikrosystemtechnik Kongress 2013
Veranstaltungsort: Aachen
Veranstaltungsdatum: 14.-16- Oktober 2013
Zugehörige Links:
Freie Schlagworte: elektrostatischer Aktor, Galvanik, Nickel, THz,
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018)
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme
Hinterlegungsdatum: 04 Feb 2014 10:00
Letzte Änderung: 19 Apr 2016 08:48
PPN:
Zugehörige Links:
Projekte: LOEWE Schwerpunktprogramm "Sensors towards Terahertz", DFG Graduiertenkolleg TICMO (GRK 1037)
Sponsoren: LOEWE, DFG
Export:
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