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Mikrospiegelbauteil mit linienförmiger Biegefeder sowie Verfahren zu dessen Herstellung

Greiner, Paul Felix ; Schlaak, Helmut F. ; Quednau, Sebastian ; Staab, Matthias Armin :
Mikrospiegelbauteil mit linienförmiger Biegefeder sowie Verfahren zu dessen Herstellung.
DE102011104843 (B4).
[Patent], (2013)

Typ des Eintrags: Patent
Erschienen: 2013
Autor(en): Greiner, Paul Felix ; Schlaak, Helmut F. ; Quednau, Sebastian ; Staab, Matthias Armin
Titel: Mikrospiegelbauteil mit linienförmiger Biegefeder sowie Verfahren zu dessen Herstellung
Sprache: Deutsch
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen
Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme
Hinterlegungsdatum: 18 Feb 2013 15:43
ID-Nummer: DE102011104843 (B4)
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