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Intrinsische Schichtspannungen in galvanisch abgeschiedenem Nickel für elektrostatische Mikroaktoren

Schlosser, Michael and Schlaak, Helmut F. (2012):
Intrinsische Schichtspannungen in galvanisch abgeschiedenem Nickel für elektrostatische Mikroaktoren.
In: Galvanotechnik, Eugen G. Leuze, 103, (12), ISSN 0016-4232, [Online-Edition: http://www.galvanotechnik.com],
[Article]

Item Type: Article
Erschienen: 2012
Creators: Schlosser, Michael and Schlaak, Helmut F.
Title: Intrinsische Schichtspannungen in galvanisch abgeschiedenem Nickel für elektrostatische Mikroaktoren
Language: German
Journal or Publication Title: Galvanotechnik
Volume: 103
Number: 12
Publisher: Eugen G. Leuze
Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design > Microtechnology and Electromechanical Systems
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
Date Deposited: 14 Jan 2013 09:14
Official URL: http://www.galvanotechnik.com
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