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Intrinsische Schichtspannungen in galvanisch abgeschiedenem Nickel für elektrostatische Mikroaktoren

Schlosser, Michael ; Schlaak, Helmut F. (2012)
Intrinsische Schichtspannungen in galvanisch abgeschiedenem Nickel für elektrostatische Mikroaktoren.
In: Galvanotechnik, 103 (12)
Artikel, Bibliographie

Typ des Eintrags: Artikel
Erschienen: 2012
Autor(en): Schlosser, Michael ; Schlaak, Helmut F.
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: Intrinsische Schichtspannungen in galvanisch abgeschiedenem Nickel für elektrostatische Mikroaktoren
Sprache: Deutsch
Publikationsjahr: Dezember 2012
Verlag: Eugen G. Leuze
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: Galvanotechnik
Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: 103
(Heft-)Nummer: 12
URL / URN: http://www.galvanotechnik.com
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018)
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Hinterlegungsdatum: 14 Jan 2013 09:14
Letzte Änderung: 19 Apr 2016 08:43
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