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3-Dimensionale Mikro-Nano-Integration für die Gasflusssensorik

Quednau, Sebastian and Schlaak, Helmut F. and Stegmann, Christian and Ensinger, Wolfgang (2012):
3-Dimensionale Mikro-Nano-Integration für die Gasflusssensorik.
Berlin, In: Öffentliches Status-/Abschlussmeeting für die Projekte aus den Bekanntmachungen "Mikro-Nano-Integration als Schlüsseltechnologie für die nächste Generation von Sensoren und Aktoren" und "Magnetische Mikro- und Nanotechnologien", [Online-Edition: http://www.vdivde-it.de/anmeldung/mni-mag-2012/vortraege],
[Conference or Workshop Item]

Item Type: Conference or Workshop Item
Erschienen: 2012
Creators: Quednau, Sebastian and Schlaak, Helmut F. and Stegmann, Christian and Ensinger, Wolfgang
Title: 3-Dimensionale Mikro-Nano-Integration für die Gasflusssensorik
Language: German
Series Name: Öffentliches Status-/Abschlussmeeting für die Projekte aus den Bekanntmachungen "Mikro-Nano-Integration als Schlüsseltechnologie für die nächste Generation von Sensoren und Aktoren" und "Magnetische Mikro- und Nanotechnologien"
Divisions: 11 Department of Materials and Earth Sciences > Material Science > Material Analytics
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design > Microtechnology and Electromechanical Systems
11 Department of Materials and Earth Sciences > Material Science
11 Department of Materials and Earth Sciences
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
Event Location: Berlin
Date Deposited: 02 Aug 2012 12:42
Official URL: http://www.vdivde-it.de/anmeldung/mni-mag-2012/vortraege
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