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3-Dimensionale Mikro-Nano-Integration für die Gasflusssensorik

Quednau, Sebastian ; Schlaak, Helmut F. ; Stegmann, Christian ; Ensinger, Wolfgang (2012)
3-Dimensionale Mikro-Nano-Integration für die Gasflusssensorik.
Berlin
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Typ des Eintrags: Konferenzveröffentlichung
Erschienen: 2012
Autor(en): Quednau, Sebastian ; Schlaak, Helmut F. ; Stegmann, Christian ; Ensinger, Wolfgang
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: 3-Dimensionale Mikro-Nano-Integration für die Gasflusssensorik
Sprache: Deutsch
Publikationsjahr: 18 Juni 2012
Reihe: Öffentliches Status-/Abschlussmeeting für die Projekte aus den Bekanntmachungen "Mikro-Nano-Integration als Schlüsseltechnologie für die nächste Generation von Sensoren und Aktoren" und "Magnetische Mikro- und Nanotechnologien"
Veranstaltungsort: Berlin
URL / URN: http://www.vdivde-it.de/anmeldung/mni-mag-2012/vortraege
Zugehörige Links:
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft > Fachgebiet Materialanalytik
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018)
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme
11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft
11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Hinterlegungsdatum: 02 Aug 2012 12:42
Letzte Änderung: 19 Apr 2016 08:39
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