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Einfluss der PVD-Prozessparameter auf die Schichtnukleation und Struktur von CrN-Schichten. – Effect of PVD process parameters on nucleation and structure of CrN layers

Slomski, Elena Maja and Scheerer, Herbert and Troßmann, Torsten and Berger, Christina (2010):
Einfluss der PVD-Prozessparameter auf die Schichtnukleation und Struktur von CrN-Schichten. – Effect of PVD process parameters on nucleation and structure of CrN layers.
In: Materialwissenschaft und Werkstofftechnik 41 (2010), 3, S. 161 – 165. ISSN 0933-5137, 1521-4052, [Article]

Item Type: Article
Erschienen: 2010
Creators: Slomski, Elena Maja and Scheerer, Herbert and Troßmann, Torsten and Berger, Christina
Title: Einfluss der PVD-Prozessparameter auf die Schichtnukleation und Struktur von CrN-Schichten. – Effect of PVD process parameters on nucleation and structure of CrN layers
Language: German
Journal or Publication Title: Materialwissenschaft und Werkstofftechnik 41 (2010), 3, S. 161 – 165. ISSN 0933-5137, 1521-4052
Divisions: 16 Department of Mechanical Engineering
16 Department of Mechanical Engineering > Center for Engineering Materials, State Materials Testing Institute Darmstadt (MPA) Chair and Institute for Materials Technology (IfW)
Date Deposited: 25 Jul 2012 14:02
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