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Strukturierte Herstellung und In-Situ-Erzeugung von metallischen Mikro- und Nanodrähten in Mikrosystemen

Quednau, Sebastian and Schlaak, Helmut F. (2011):
Strukturierte Herstellung und In-Situ-Erzeugung von metallischen Mikro- und Nanodrähten in Mikrosystemen.
In: Mikrosystemtechnik Kongress, Darmstadt, 11.Oct-12.Oct, [Conference or Workshop Item]

Item Type: Conference or Workshop Item
Erschienen: 2011
Creators: Quednau, Sebastian and Schlaak, Helmut F.
Title: Strukturierte Herstellung und In-Situ-Erzeugung von metallischen Mikro- und Nanodrähten in Mikrosystemen
Language: German
Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design > Microtechnology and Electromechanical Systems
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
Event Title: Mikrosystemtechnik Kongress
Event Location: Darmstadt
Event Dates: 11.Oct-12.Oct
Date Deposited: 14 Mar 2012 12:59
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