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Surface micromachined tunable 1.55 µm-VCSEL with 102 nm continuous single-mode tuning

Gierl, C. ; Gruendl, T. ; Debernardi, P. ; Zogal, K. ; Grasse, C. ; Davani, H. A. ; Böhm, G. ; Jatta, S. ; Küppers, F. ; Meißner, P. ; Amann, M.-C. (2011)
Surface micromachined tunable 1.55 µm-VCSEL with 102 nm continuous single-mode tuning.
In: Optics Express, 19 (18)
Artikel, Bibliographie

Kurzbeschreibung (Abstract)

For the first time a vertical-cavity surface-emitting laser (VCSEL) with a single-mode wavelength-tuning over 102nm in the range of 1550nm is demonstrated. The fiber-coupled optical output power has a maximum of 3.5mW and is \textgreater 2mW over the entire tuning range. The sidemode suppression ratios are \textgreater 45dB. The wavelength tuning is achieved with the micro-electro mechanical actuation of a mirror membrane fabricated with surface micro-machining for on-wafer mass production. The mirror membrane consists of low cost dielectric materials (SiOx/SiNy) deposited with low temperature (\textless 100 °C) Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD).

Typ des Eintrags: Artikel
Erschienen: 2011
Autor(en): Gierl, C. ; Gruendl, T. ; Debernardi, P. ; Zogal, K. ; Grasse, C. ; Davani, H. A. ; Böhm, G. ; Jatta, S. ; Küppers, F. ; Meißner, P. ; Amann, M.-C.
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: Surface micromachined tunable 1.55 µm-VCSEL with 102 nm continuous single-mode tuning
Sprache: Englisch
Publikationsjahr: 2011
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: Optics Express
Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: 19
(Heft-)Nummer: 18
URL / URN: http://www.opticsexpress.org/abstract.cfm?URI=oe-19-18-17336
Kurzbeschreibung (Abstract):

For the first time a vertical-cavity surface-emitting laser (VCSEL) with a single-mode wavelength-tuning over 102nm in the range of 1550nm is demonstrated. The fiber-coupled optical output power has a maximum of 3.5mW and is \textgreater 2mW over the entire tuning range. The sidemode suppression ratios are \textgreater 45dB. The wavelength tuning is achieved with the micro-electro mechanical actuation of a mirror membrane fabricated with surface micro-machining for on-wafer mass production. The mirror membrane consists of low cost dielectric materials (SiOx/SiNy) deposited with low temperature (\textless 100 °C) Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD).

Freie Schlagworte: Lasers, tunable, Optical microelectromechanical devices, Vertical cavity surface emitting lasers
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Mikrowellentechnik und Photonik (IMP) > Photonik und Optische Nachrichtentechnik
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Mikrowellentechnik und Photonik (IMP)
Hinterlegungsdatum: 08 Mär 2012 16:16
Letzte Änderung: 05 Aug 2013 12:49
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