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Mikro-Galvanoformung mit heterogenem Aspektverhältnis für Inertialsensoren

El Khoury, Mario (2011):
Mikro-Galvanoformung mit heterogenem Aspektverhältnis für Inertialsensoren.
Institut EMK / FG M+EMS, [Bachelor Thesis]

Abstract

Diese Arbeit vergleicht das Umkehrpuls-Abscheidung mit aspektverhältnisabhängigen Parametern Verfahren mit dem Gleichstrom-Abscheidungs Verfahren bei einem heterogenen Aspektverhältnis. Die Option Separate Abscheidung von Bereichen mit hohem und geringem Aspektverhältnis ist mit dem Gleichstrom- und Umkehrpuls-Verfahren kombiniert und durchgeführt worden. Innerhalb der Strukturen mit hohem Aspektverhältnis, weist das Umkehrpuls-Verfahren eine höhere Abscheiderate im Vergleich zum Gleichstrom-Verfahren auf. Die Erhöhung der negativen und positiven Stromdichten von J1 = 10 und J2 =

Item Type: Bachelor Thesis
Erschienen: 2011
Creators: El Khoury, Mario
Title: Mikro-Galvanoformung mit heterogenem Aspektverhältnis für Inertialsensoren
Language: German
Abstract:

Diese Arbeit vergleicht das Umkehrpuls-Abscheidung mit aspektverhältnisabhängigen Parametern Verfahren mit dem Gleichstrom-Abscheidungs Verfahren bei einem heterogenen Aspektverhältnis. Die Option Separate Abscheidung von Bereichen mit hohem und geringem Aspektverhältnis ist mit dem Gleichstrom- und Umkehrpuls-Verfahren kombiniert und durchgeführt worden. Innerhalb der Strukturen mit hohem Aspektverhältnis, weist das Umkehrpuls-Verfahren eine höhere Abscheiderate im Vergleich zum Gleichstrom-Verfahren auf. Die Erhöhung der negativen und positiven Stromdichten von J1 = 10 und J2 =

Uncontrolled Keywords: Mikro- und Feinwerktechnik Elektromechanische Konstruktionen
Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design > Microtechnology and Electromechanical Systems
Date Deposited: 09 Jan 2012 13:37
Additional Information:

EMK-spezifische Daten:

Lagerort Dokument: Archiv EMK, Kontakt über Sekretariate,

Bibliotheks-Siegel: 17/24 EMKB 1774

Art der Arbeit: Bachelorarbeit

Beginn Datum: 02-05-2011

Ende Datum: 02-09-2011

Identification Number: 17/24 EMKB1774
Referees: Schlaak, Prof. Dr. Helmut F.
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