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Mikro-Galvanoformung mit heterogenem Aspektverhältnis für Inertialsensoren

El Khoury, Mario :
Mikro-Galvanoformung mit heterogenem Aspektverhältnis für Inertialsensoren.
Institut EMK / FG M+EMS
[Bachelorarbeit], (2011)

Kurzbeschreibung (Abstract)

Diese Arbeit vergleicht das Umkehrpuls-Abscheidung mit aspektverhältnisabhängigen Parametern Verfahren mit dem Gleichstrom-Abscheidungs Verfahren bei einem heterogenen Aspektverhältnis. Die Option Separate Abscheidung von Bereichen mit hohem und geringem Aspektverhältnis ist mit dem Gleichstrom- und Umkehrpuls-Verfahren kombiniert und durchgeführt worden. Innerhalb der Strukturen mit hohem Aspektverhältnis, weist das Umkehrpuls-Verfahren eine höhere Abscheiderate im Vergleich zum Gleichstrom-Verfahren auf. Die Erhöhung der negativen und positiven Stromdichten von J1 = 10 und J2 =

Typ des Eintrags: Bachelorarbeit
Erschienen: 2011
Autor(en): El Khoury, Mario
Titel: Mikro-Galvanoformung mit heterogenem Aspektverhältnis für Inertialsensoren
Sprache: Deutsch
Kurzbeschreibung (Abstract):

Diese Arbeit vergleicht das Umkehrpuls-Abscheidung mit aspektverhältnisabhängigen Parametern Verfahren mit dem Gleichstrom-Abscheidungs Verfahren bei einem heterogenen Aspektverhältnis. Die Option Separate Abscheidung von Bereichen mit hohem und geringem Aspektverhältnis ist mit dem Gleichstrom- und Umkehrpuls-Verfahren kombiniert und durchgeführt worden. Innerhalb der Strukturen mit hohem Aspektverhältnis, weist das Umkehrpuls-Verfahren eine höhere Abscheiderate im Vergleich zum Gleichstrom-Verfahren auf. Die Erhöhung der negativen und positiven Stromdichten von J1 = 10 und J2 =

Freie Schlagworte: Mikro- und Feinwerktechnik Elektromechanische Konstruktionen
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme
Hinterlegungsdatum: 09 Jan 2012 13:37
Zusätzliche Informationen:

EMK-spezifische Daten:

Lagerort Dokument: Archiv EMK, Kontakt über Sekretariate,

Bibliotheks-Siegel: 17/24 EMKB 1774

Art der Arbeit: Bachelorarbeit

Beginn Datum: 02-05-2011

Ende Datum: 02-09-2011

ID-Nummer: 17/24 EMKB1774
Gutachter / Prüfer: Schlaak, Prof. Dr. Helmut F.
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