Schlaak, Helmut F. ; Werthschützky, Roland ; Eicher, D. ; Röse, Andreas ; Rausch, Jacqueline ; Stöhr, Ingmar
:
Im Kleinen ganz groß : mikroelektromechanische Systeme.
In:
thema Forschung. Technische Universität Darmstadt, Bd. 12
pp. 44-50.
[Artikel], (2007)
| Typ des Eintrags: | Artikel |
|---|---|
| Erschienen: | 2007 |
| Autor(en): | Schlaak, Helmut F. ; Werthschützky, Roland ; Eicher, D. ; Röse, Andreas ; Rausch, Jacqueline ; Stöhr, Ingmar |
| Titel: | Im Kleinen ganz groß : mikroelektromechanische Systeme |
| Sprache: | Deutsch |
| Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | thema Forschung. Technische Universität Darmstadt |
| Band: | Bd. 12 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen > Mess- und Sensortechnik Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen |
| Hinterlegungsdatum: | 19 Nov 2008 16:01 |
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