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Im Kleinen ganz groß : mikroelektromechanische Systeme

Schlaak, Helmut F. ; Werthschützky, Roland ; Eicher, D. ; Röse, Andreas ; Rausch, Jacqueline ; Stöhr, Ingmar (2007)
Im Kleinen ganz groß : mikroelektromechanische Systeme.
In: thema Forschung. Technische Universität Darmstadt, 12
Artikel, Bibliographie

Typ des Eintrags: Artikel
Erschienen: 2007
Autor(en): Schlaak, Helmut F. ; Werthschützky, Roland ; Eicher, D. ; Röse, Andreas ; Rausch, Jacqueline ; Stöhr, Ingmar
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: Im Kleinen ganz groß : mikroelektromechanische Systeme
Sprache: Deutsch
Publikationsjahr: 2007
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: thema Forschung. Technische Universität Darmstadt
Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: 12
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018)
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mess- und Sensortechnik
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 16:01
Letzte Änderung: 03 Jan 2021 16:08
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