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Im Kleinen ganz groß : mikroelektromechanische Systeme

Schlaak, Helmut F. ; Werthschützky, Roland ; Eicher, D. ; Röse, Andreas ; Rausch, Jacqueline ; Stöhr, Ingmar :
Im Kleinen ganz groß : mikroelektromechanische Systeme.
In: thema Forschung. Technische Universität Darmstadt, Bd. 12 pp. 44-50.
[Artikel], (2007)

Typ des Eintrags: Artikel
Erschienen: 2007
Autor(en): Schlaak, Helmut F. ; Werthschützky, Roland ; Eicher, D. ; Röse, Andreas ; Rausch, Jacqueline ; Stöhr, Ingmar
Titel: Im Kleinen ganz groß : mikroelektromechanische Systeme
Sprache: Deutsch
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: thema Forschung. Technische Universität Darmstadt
Band: Bd. 12
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen > Mess- und Sensortechnik
Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme
Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 16:01
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