Hamann, Monika (2007)
Charakterisierung und Optimierung des Schleuderprozesses zur Herstellung dielektrischer Polymeraktoren.
Technische Universität Darmstadt
Studienarbeit, Bibliographie
Kurzbeschreibung (Abstract)
Zusammenfassung:
In der vorliegenden Studienarbeit wird der Schleuderprozess von Silikonschichten für die Herstellung von dielektrischen Polymeraktoren am Institut EMK umfassend experimentell und analytisch untersucht. Ziel ist es, Schichtdicken kleiner 30 µm exakt herstellen zu können und dabei eine hohe Schichtdickengleichmäßigkeit zu erreichen. Durch einen neuartigen Drehtelleraufsatz als Substratträger für polierte Wafer werden Defekte wie Krater, Streifen und Verschmierungen in der Oberfläche der Schicht erstmals sichtbar.
Der Schleuderprozess enthält viele Einflussparameter wie Enddrehzahl, Anfangsdrehzahl, Schleuderzeit, Elastomermenge, Drehtellertemperatur und die Beschleunigung, deren quantitativer Einfluss auf die Schichtdicke und die Schichtdickengleichmäßigkeit nicht ausreichend bekannt ist. Mittels der statistischen Versuchsplanung werden als Schichtdickeneinflussparameter die Schleuderzeit, Enddrehzahl und deren Wechselwirkung, und für die Schichtdickengleichmäßigkeit die Schleuderzeit identifiziert. Für die Bestimmung der Parameter des Schleuderprozesses mit einer mathematischen Näherungsfunktion wird mit dem Least Square Algorithmus eine Approximation der Parameter bestimmt.
Neben dem Standardmaterial Elastosil P7670 von Wacker werden weitere Elastomere untersucht, die sich in den wichtigen Materialparametern Viskosität und Dichte unterscheiden. Es zeigt sich, dass diese Materialparameter Einfluss auf die Schichtdicke haben.
Bei der Untersuchung der Schichtdickenzunahme zur Herstellung von Stapelaktoren wird gezeigt, dass eine nicht ausreichende Kühldauer des Drehtellers und der Schicht die Ursache für die Schichtdickenzunahme ist. Die Kühldauer kann auf 45 Sekunden verkürzt werden, ohne eine Schichtdickenzunahme hervorzurufen.
| Typ des Eintrags: | Studienarbeit |
|---|---|
| Erschienen: | 2007 |
| Autor(en): | Hamann, Monika |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Charakterisierung und Optimierung des Schleuderprozesses zur Herstellung dielektrischer Polymeraktoren |
| Sprache: | Deutsch |
| Referenten: | Matysek, Dipl.-Ing. Marc ; Schlaak, Prof. Dr.- Helmut Friedrich |
| Publikationsjahr: | 14 September 2007 |
| Zugehörige Links: | |
| Kurzbeschreibung (Abstract): | Zusammenfassung: In der vorliegenden Studienarbeit wird der Schleuderprozess von Silikonschichten für die Herstellung von dielektrischen Polymeraktoren am Institut EMK umfassend experimentell und analytisch untersucht. Ziel ist es, Schichtdicken kleiner 30 µm exakt herstellen zu können und dabei eine hohe Schichtdickengleichmäßigkeit zu erreichen. Durch einen neuartigen Drehtelleraufsatz als Substratträger für polierte Wafer werden Defekte wie Krater, Streifen und Verschmierungen in der Oberfläche der Schicht erstmals sichtbar. Der Schleuderprozess enthält viele Einflussparameter wie Enddrehzahl, Anfangsdrehzahl, Schleuderzeit, Elastomermenge, Drehtellertemperatur und die Beschleunigung, deren quantitativer Einfluss auf die Schichtdicke und die Schichtdickengleichmäßigkeit nicht ausreichend bekannt ist. Mittels der statistischen Versuchsplanung werden als Schichtdickeneinflussparameter die Schleuderzeit, Enddrehzahl und deren Wechselwirkung, und für die Schichtdickengleichmäßigkeit die Schleuderzeit identifiziert. Für die Bestimmung der Parameter des Schleuderprozesses mit einer mathematischen Näherungsfunktion wird mit dem Least Square Algorithmus eine Approximation der Parameter bestimmt. Neben dem Standardmaterial Elastosil P7670 von Wacker werden weitere Elastomere untersucht, die sich in den wichtigen Materialparametern Viskosität und Dichte unterscheiden. Es zeigt sich, dass diese Materialparameter Einfluss auf die Schichtdicke haben. Bei der Untersuchung der Schichtdickenzunahme zur Herstellung von Stapelaktoren wird gezeigt, dass eine nicht ausreichende Kühldauer des Drehtellers und der Schicht die Ursache für die Schichtdickenzunahme ist. Die Kühldauer kann auf 45 Sekunden verkürzt werden, ohne eine Schichtdickenzunahme hervorzurufen. |
| Freie Schlagworte: | Elektromechanische Konstruktionen, Mikro- und Feinwerktechnik, Herstellungsparameter Polymer-Stapelaktor, Schichtqualität, Schleudervorrichtung, Versuchsplanung statistisch |
| ID-Nummer: | 17/24 EMKS 1652 |
| Zusätzliche Informationen: | EMK-spezifische Daten: Lagerort Dokument: Archiv EMK, Kontakt über Sekretariate, Bibliotheks-Sigel: 17/24 EMKS 1652 Art der Arbeit: Studienarbeit Beginn Datum: 14-05-2007 Ende Datum: 14-09-2007 Querverweis: 17/24 EMKD 1627 Studiengang: Elektrotechnik und Informationstechnik (ETiT) Vertiefungsrichtung: Mikro- und Feinwerktechnik (MFT) Abschluss: Diplom (MFT) |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018) 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme |
| Hinterlegungsdatum: | 31 Aug 2011 10:21 |
| Letzte Änderung: | 05 Mär 2013 09:53 |
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| Referenten: | Matysek, Dipl.-Ing. Marc ; Schlaak, Prof. Dr.- Helmut Friedrich |
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