TU Darmstadt / ULB / TUbiblio

Charakterisierung und Optimierung des Schleuderprozesses zur Herstellung dielektrischer Polymeraktoren

Hamann, Monika (2007):
Charakterisierung und Optimierung des Schleuderprozesses zur Herstellung dielektrischer Polymeraktoren.
Technische Universität Darmstadt, [Seminar paper (Midterm)]

Abstract

Zusammenfassung:

In der vorliegenden Studienarbeit wird der Schleuderprozess von Silikonschichten für die Herstellung von dielektrischen Polymeraktoren am Institut EMK umfassend experimentell und analytisch untersucht. Ziel ist es, Schichtdicken kleiner 30 µm exakt herstellen zu können und dabei eine hohe Schichtdickengleichmäßigkeit zu erreichen. Durch einen neuartigen Drehtelleraufsatz als Substratträger für polierte Wafer werden Defekte wie Krater, Streifen und Verschmierungen in der Oberfläche der Schicht erstmals sichtbar.

Der Schleuderprozess enthält viele Einflussparameter wie Enddrehzahl, Anfangsdrehzahl, Schleuderzeit, Elastomermenge, Drehtellertemperatur und die Beschleunigung, deren quantitativer Einfluss auf die Schichtdicke und die Schichtdickengleichmäßigkeit nicht ausreichend bekannt ist. Mittels der statistischen Versuchsplanung werden als Schichtdickeneinflussparameter die Schleuderzeit, Enddrehzahl und deren Wechselwirkung, und für die Schichtdickengleichmäßigkeit die Schleuderzeit identifiziert. Für die Bestimmung der Parameter des Schleuderprozesses mit einer mathematischen Näherungsfunktion wird mit dem Least Square Algorithmus eine Approximation der Parameter bestimmt.

Neben dem Standardmaterial Elastosil P7670 von Wacker werden weitere Elastomere untersucht, die sich in den wichtigen Materialparametern Viskosität und Dichte unterscheiden. Es zeigt sich, dass diese Materialparameter Einfluss auf die Schichtdicke haben.

Bei der Untersuchung der Schichtdickenzunahme zur Herstellung von Stapelaktoren wird gezeigt, dass eine nicht ausreichende Kühldauer des Drehtellers und der Schicht die Ursache für die Schichtdickenzunahme ist. Die Kühldauer kann auf 45 Sekunden verkürzt werden, ohne eine Schichtdickenzunahme hervorzurufen.

Item Type: Seminar paper (Midterm)
Erschienen: 2007
Creators: Hamann, Monika
Title: Charakterisierung und Optimierung des Schleuderprozesses zur Herstellung dielektrischer Polymeraktoren
Language: German
Abstract:

Zusammenfassung:

In der vorliegenden Studienarbeit wird der Schleuderprozess von Silikonschichten für die Herstellung von dielektrischen Polymeraktoren am Institut EMK umfassend experimentell und analytisch untersucht. Ziel ist es, Schichtdicken kleiner 30 µm exakt herstellen zu können und dabei eine hohe Schichtdickengleichmäßigkeit zu erreichen. Durch einen neuartigen Drehtelleraufsatz als Substratträger für polierte Wafer werden Defekte wie Krater, Streifen und Verschmierungen in der Oberfläche der Schicht erstmals sichtbar.

Der Schleuderprozess enthält viele Einflussparameter wie Enddrehzahl, Anfangsdrehzahl, Schleuderzeit, Elastomermenge, Drehtellertemperatur und die Beschleunigung, deren quantitativer Einfluss auf die Schichtdicke und die Schichtdickengleichmäßigkeit nicht ausreichend bekannt ist. Mittels der statistischen Versuchsplanung werden als Schichtdickeneinflussparameter die Schleuderzeit, Enddrehzahl und deren Wechselwirkung, und für die Schichtdickengleichmäßigkeit die Schleuderzeit identifiziert. Für die Bestimmung der Parameter des Schleuderprozesses mit einer mathematischen Näherungsfunktion wird mit dem Least Square Algorithmus eine Approximation der Parameter bestimmt.

Neben dem Standardmaterial Elastosil P7670 von Wacker werden weitere Elastomere untersucht, die sich in den wichtigen Materialparametern Viskosität und Dichte unterscheiden. Es zeigt sich, dass diese Materialparameter Einfluss auf die Schichtdicke haben.

Bei der Untersuchung der Schichtdickenzunahme zur Herstellung von Stapelaktoren wird gezeigt, dass eine nicht ausreichende Kühldauer des Drehtellers und der Schicht die Ursache für die Schichtdickenzunahme ist. Die Kühldauer kann auf 45 Sekunden verkürzt werden, ohne eine Schichtdickenzunahme hervorzurufen.

Uncontrolled Keywords: Elektromechanische Konstruktionen, Mikro- und Feinwerktechnik, Herstellungsparameter Polymer-Stapelaktor, Schichtqualität, Schleudervorrichtung, Versuchsplanung statistisch
Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design > Microtechnology and Electromechanical Systems
Date Deposited: 31 Aug 2011 10:21
Additional Information:

EMK-spezifische Daten:

Lagerort Dokument: Archiv EMK, Kontakt über Sekretariate,

Bibliotheks-Sigel: 17/24 EMKS 1652

Art der Arbeit: Studienarbeit

Beginn Datum: 14-05-2007

Ende Datum: 14-09-2007

Querverweis: 17/24 EMKD 1627

Studiengang: Elektrotechnik und Informationstechnik (ETiT)

Vertiefungsrichtung: Mikro- und Feinwerktechnik (MFT)

Abschluss: Diplom (MFT)

Identification Number: 17/24 EMKS 1652
Referees: Matysek, Dipl.-Ing. Marc and Schlaak, Prof. Dr.- Helmut Friedrich
Related URLs:
Export:

Optionen (nur für Redakteure)

View Item View Item