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Messtechnische Charakterisierung elektrostatischer Aktoren mit elastischem Dieelektrikum

Matysek, Marc (2003):
Messtechnische Charakterisierung elektrostatischer Aktoren mit elastischem Dieelektrikum.
Technische Universität Darmstadt, [Diploma Thesis or Magisterarbeit]

Abstract

Zusammenfassung:

Diese Diplomarbeit beschäftigt sich mit der messtechnischen Charakterisierung von elektrostatischen Aktoren mit elastischem Dielektrikum, die als Stapelaktoren hergestellt werden.

Der bestehende Messplatz wurde durch entsprechende zusätzliche Messgeräte erweitert. Ein Schwerpunkt bildete dabei die Anbindung dieser Messgeräte an den PC, der sowohl Steuerungs- und Initialisierungsvorgänge übernimmt, als auch der Sicherung der Messwerte (Messwerterfassung) dient.

Zur Beschreibung des Aktors und dem Vergleich mit Modellen werden sowohl die Materialkennwerte als auch das tatsächliche Aktorverhalten untersucht.

Die Materialeigenschaften werden durch das verwendete Silikon bestimmt, es werden das E-Modul und die mechanische Impedanz ermittelt.

Zur Beschreibung des aktiven Verhaltens der Aktoren werden folgende Messungen eingerichtet:

- Auslenkung in Abh. von der elektr. Spannung

- Auslenkung in Abh. von der Frequenz der elektr. Spannung

Mit Hilfe der gemessenen Werte wird ein Modellvergleich durchgeführt, der eine gute Übereinstimmung ergibt.

Weiterhin werden die Flächenwiderstände der Elektroden für unterschiedliche Elektrodenmaterialien bei unterschiedlichen mechanischen Vorspannungen ermittelt.

Durch die Steuerung eines optischen Entfernungsmessgerätes und einer x-y-Tisch Verschiebe-Einheit können Höhenkarten mit einer maximalen Höhe von 1mm (Auflösung ca. 1/10 µm) erstellt werden.

Item Type: Diploma Thesis or Magisterarbeit
Erschienen: 2003
Creators: Matysek, Marc
Title: Messtechnische Charakterisierung elektrostatischer Aktoren mit elastischem Dieelektrikum
Language: German
Abstract:

Zusammenfassung:

Diese Diplomarbeit beschäftigt sich mit der messtechnischen Charakterisierung von elektrostatischen Aktoren mit elastischem Dielektrikum, die als Stapelaktoren hergestellt werden.

Der bestehende Messplatz wurde durch entsprechende zusätzliche Messgeräte erweitert. Ein Schwerpunkt bildete dabei die Anbindung dieser Messgeräte an den PC, der sowohl Steuerungs- und Initialisierungsvorgänge übernimmt, als auch der Sicherung der Messwerte (Messwerterfassung) dient.

Zur Beschreibung des Aktors und dem Vergleich mit Modellen werden sowohl die Materialkennwerte als auch das tatsächliche Aktorverhalten untersucht.

Die Materialeigenschaften werden durch das verwendete Silikon bestimmt, es werden das E-Modul und die mechanische Impedanz ermittelt.

Zur Beschreibung des aktiven Verhaltens der Aktoren werden folgende Messungen eingerichtet:

- Auslenkung in Abh. von der elektr. Spannung

- Auslenkung in Abh. von der Frequenz der elektr. Spannung

Mit Hilfe der gemessenen Werte wird ein Modellvergleich durchgeführt, der eine gute Übereinstimmung ergibt.

Weiterhin werden die Flächenwiderstände der Elektroden für unterschiedliche Elektrodenmaterialien bei unterschiedlichen mechanischen Vorspannungen ermittelt.

Durch die Steuerung eines optischen Entfernungsmessgerätes und einer x-y-Tisch Verschiebe-Einheit können Höhenkarten mit einer maximalen Höhe von 1mm (Auflösung ca. 1/10 µm) erstellt werden.

Uncontrolled Keywords: Elektromechanische Konstruktionen, Mikro- und Feinwerktechnik, Aktor elektrostatisch, Dielektrikum elastisch, Impedanzmessplatz mechanisch, Materialeigenschaften Silikon, Oberflächenscan, Oberflächenstruktur, Silikonkautschuk Anwendung
Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design > Microtechnology and Electromechanical Systems
Date Deposited: 31 Aug 2011 10:11
Additional Information:

EMK-spezifische Daten:

Lagerort Dokument: Archiv EMK, Kontakt über Sekretariate,

Bibliotheks-Sigel: 17/24 EMKD 1535

Art der Arbeit: Diplomarbeit

Beginn Datum: 30-06-2003

Ende Datum: 30-09-2003

Querverweis: keiner

Studiengang: Elektrotechnik (ET)

Vertiefungsrichtung: Elektromechanische Konstruktionen (EMK)

Abschluss: Diplom (MFT)

Identification Number: 17/24 EMKD 1535
Referees: Jungmann, Dipl.-Ing. Markus and Schlaak, Prof. Dr.- Helmut Friedrich
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