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Messtechnische Charakterisierung elektrostatischer Aktoren mit elastischem Dieelektrikum

Matysek, Marc :
Messtechnische Charakterisierung elektrostatischer Aktoren mit elastischem Dieelektrikum.
Technische Universität Darmstadt
[Diplom- oder Magisterarbeit], (2003)

Kurzbeschreibung (Abstract)

Zusammenfassung:

Diese Diplomarbeit beschäftigt sich mit der messtechnischen Charakterisierung von elektrostatischen Aktoren mit elastischem Dielektrikum, die als Stapelaktoren hergestellt werden.

Der bestehende Messplatz wurde durch entsprechende zusätzliche Messgeräte erweitert. Ein Schwerpunkt bildete dabei die Anbindung dieser Messgeräte an den PC, der sowohl Steuerungs- und Initialisierungsvorgänge übernimmt, als auch der Sicherung der Messwerte (Messwerterfassung) dient.

Zur Beschreibung des Aktors und dem Vergleich mit Modellen werden sowohl die Materialkennwerte als auch das tatsächliche Aktorverhalten untersucht.

Die Materialeigenschaften werden durch das verwendete Silikon bestimmt, es werden das E-Modul und die mechanische Impedanz ermittelt.

Zur Beschreibung des aktiven Verhaltens der Aktoren werden folgende Messungen eingerichtet:

- Auslenkung in Abh. von der elektr. Spannung

- Auslenkung in Abh. von der Frequenz der elektr. Spannung

Mit Hilfe der gemessenen Werte wird ein Modellvergleich durchgeführt, der eine gute Übereinstimmung ergibt.

Weiterhin werden die Flächenwiderstände der Elektroden für unterschiedliche Elektrodenmaterialien bei unterschiedlichen mechanischen Vorspannungen ermittelt.

Durch die Steuerung eines optischen Entfernungsmessgerätes und einer x-y-Tisch Verschiebe-Einheit können Höhenkarten mit einer maximalen Höhe von 1mm (Auflösung ca. 1/10 µm) erstellt werden.

Typ des Eintrags: Diplom- oder Magisterarbeit
Erschienen: 2003
Autor(en): Matysek, Marc
Titel: Messtechnische Charakterisierung elektrostatischer Aktoren mit elastischem Dieelektrikum
Sprache: Deutsch
Kurzbeschreibung (Abstract):

Zusammenfassung:

Diese Diplomarbeit beschäftigt sich mit der messtechnischen Charakterisierung von elektrostatischen Aktoren mit elastischem Dielektrikum, die als Stapelaktoren hergestellt werden.

Der bestehende Messplatz wurde durch entsprechende zusätzliche Messgeräte erweitert. Ein Schwerpunkt bildete dabei die Anbindung dieser Messgeräte an den PC, der sowohl Steuerungs- und Initialisierungsvorgänge übernimmt, als auch der Sicherung der Messwerte (Messwerterfassung) dient.

Zur Beschreibung des Aktors und dem Vergleich mit Modellen werden sowohl die Materialkennwerte als auch das tatsächliche Aktorverhalten untersucht.

Die Materialeigenschaften werden durch das verwendete Silikon bestimmt, es werden das E-Modul und die mechanische Impedanz ermittelt.

Zur Beschreibung des aktiven Verhaltens der Aktoren werden folgende Messungen eingerichtet:

- Auslenkung in Abh. von der elektr. Spannung

- Auslenkung in Abh. von der Frequenz der elektr. Spannung

Mit Hilfe der gemessenen Werte wird ein Modellvergleich durchgeführt, der eine gute Übereinstimmung ergibt.

Weiterhin werden die Flächenwiderstände der Elektroden für unterschiedliche Elektrodenmaterialien bei unterschiedlichen mechanischen Vorspannungen ermittelt.

Durch die Steuerung eines optischen Entfernungsmessgerätes und einer x-y-Tisch Verschiebe-Einheit können Höhenkarten mit einer maximalen Höhe von 1mm (Auflösung ca. 1/10 µm) erstellt werden.

Freie Schlagworte: Elektromechanische Konstruktionen, Mikro- und Feinwerktechnik, Aktor elektrostatisch, Dielektrikum elastisch, Impedanzmessplatz mechanisch, Materialeigenschaften Silikon, Oberflächenscan, Oberflächenstruktur, Silikonkautschuk Anwendung
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen
Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme
Hinterlegungsdatum: 31 Aug 2011 10:11
Zusätzliche Informationen:

EMK-spezifische Daten:

Lagerort Dokument: Archiv EMK, Kontakt über Sekretariate,

Bibliotheks-Sigel: 17/24 EMKD 1535

Art der Arbeit: Diplomarbeit

Beginn Datum: 30-06-2003

Ende Datum: 30-09-2003

Querverweis: keiner

Studiengang: Elektrotechnik (ET)

Vertiefungsrichtung: Elektromechanische Konstruktionen (EMK)

Abschluss: Diplom (MFT)

ID-Nummer: 17/24 EMKD 1535
Gutachter / Prüfer: Jungmann, Dipl.-Ing. Markus ; Schlaak, Prof. Dr.- Helmut Friedrich
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