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Aufbau einer Messzelle mit Dünnfilmleiterbahnen

Yang, Ljudmilla (1999):
Aufbau einer Messzelle mit Dünnfilmleiterbahnen.
Technische Universität Darmstadt, [Seminar paper (Midterm)]

Abstract

Zusammenfassung:

In dieser Arbeit wird der Aufbau eines Drucksensors beschrieben, der sich stark von den auf dem Markt erhältlichen unterscheidet. Im Vergleich zu den handelsüblichen Gehäusen hat das neukonzipierte Gehäuse drei Besonderheiten:

Anstelle eines TO-Sockels zur Kontaktierung des Sensors wird eine mit Dünnfilmleiterbahnen beschichtete Grundplatte verwendet.

Es werden neue Technologien zur Herstellung der Bauteile angewendet.

Der Sensor weist ein verringertes Ölvolumen auf.

Vorgegeben sind die drei vorhandenen Bauteile Gehäuse, piezoresistiver Sensor und die mit Dünnfilmleiterbahnen beschichtete Grundplatte. Der erste Teil der Aufgabe besteht aus der Montage des miniaturisierten Drucksensors. Es werden verschiedene Verbindungsarten zwischen dem Gehäuse und der Grundplatte untersucht und eine Auswahl getroffen. Zur präzisen Montage der drei Bauteile wird eine Montagevorrichtung, die sog. Montageeinheit, konstruiert und realisiert. Nach dem Aufbau wird das Verhalten des Drucksensors untersucht. Der zweite Teil der Aufgabe beinhaltet das Redesign des Drucksensors und die Erweiterung des Konzeptes zu einem Differenzdrucksensor.

Item Type: Seminar paper (Midterm)
Erschienen: 1999
Creators: Yang, Ljudmilla
Title: Aufbau einer Messzelle mit Dünnfilmleiterbahnen
Language: German
Abstract:

Zusammenfassung:

In dieser Arbeit wird der Aufbau eines Drucksensors beschrieben, der sich stark von den auf dem Markt erhältlichen unterscheidet. Im Vergleich zu den handelsüblichen Gehäusen hat das neukonzipierte Gehäuse drei Besonderheiten:

Anstelle eines TO-Sockels zur Kontaktierung des Sensors wird eine mit Dünnfilmleiterbahnen beschichtete Grundplatte verwendet.

Es werden neue Technologien zur Herstellung der Bauteile angewendet.

Der Sensor weist ein verringertes Ölvolumen auf.

Vorgegeben sind die drei vorhandenen Bauteile Gehäuse, piezoresistiver Sensor und die mit Dünnfilmleiterbahnen beschichtete Grundplatte. Der erste Teil der Aufgabe besteht aus der Montage des miniaturisierten Drucksensors. Es werden verschiedene Verbindungsarten zwischen dem Gehäuse und der Grundplatte untersucht und eine Auswahl getroffen. Zur präzisen Montage der drei Bauteile wird eine Montagevorrichtung, die sog. Montageeinheit, konstruiert und realisiert. Nach dem Aufbau wird das Verhalten des Drucksensors untersucht. Der zweite Teil der Aufgabe beinhaltet das Redesign des Drucksensors und die Erweiterung des Konzeptes zu einem Differenzdrucksensor.

Uncontrolled Keywords: Elektromechanische Konstruktionen, Mikro- und Feinwerktechnik, Drucksensoren piezoresistiv, Kleben, Miniaturisierung, Montagehilfe, Prototyp Aufbau, Schweissen, Verbindungsverfahren
Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design > Measurement and Sensor Technology
Date Deposited: 09 Sep 2011 14:18
Additional Information:

EMK-spezifische Daten:

Lagerort Dokument: Archiv EMK, Kontakt über Sekretariate,

Bibliotheks-Sigel: 17/24 EMKS 1418

Art der Arbeit: Studienarbeit

Beginn Datum: 04-05-1998

Ende Datum: 11-02-1999

Querverweis: 17/24 EMKS 1347

Studiengang: Elektrotechnik (ET)

Vertiefungsrichtung: Elektromechanische Konstruktionen (EMK)

Abschluss: Diplom (EMK)

Identification Number: 17/24 EMKS 1418
Referees: Hohlfeld, Dipl.-Ing. Olaf and Werthschützky, Prof. Dr.- Roland
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