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Vermessung von dünnen Edelstahlmembranen

Kolarsky, Jens (1998):
Vermessung von dünnen Edelstahlmembranen.
Technische Universität Darmstadt, [Diploma Thesis or Magisterarbeit]

Abstract

Zusammenfassung:

Durch Optimierung der geometrischen Gestaltung der Trennmembran von Drucksensoren können systematische Meßfehler reduziert werden. Wünschenswert ist ein linearer Zusammenhang zwischen anliegendem Druck und der Auslenkung.

In dieser Arbeit wurde ein Meßstand realisiert, mit dem Biegelinien von Trennmembranen bei verschiedenen Drücken meßtechnisch ermittelt werden können. Die Membranoberfläche wird mit einem Abstandsmeßgerät in einem Freiheitsgrad berührungslos abgetastet. Die Abtastbewegung ist durch einen Linearvorschub realisiert. Eine Präzisionsdruckquelle liefert die Drücke, um die Membran auszulenken. Um eine komfortabele Messung zu ermöglichen, ist der Meßplatz rechnergesteuert. Die Membran kann mit einem Heizelement erwärmt werden, um das Temperaturverhalten zu untersuchen.

Eine unter MATLAB programmierte Software visualisiert und korrigiert die gemessenen Daten und berechnet die Werte für Mittenauslenkung und Schluckvolumen der Membran. Der Begriff Schluckvolumen steht für das Volumen unter der ausgelenkten Membran. Bezogen auf den Meßbereichsendwert des Abstandsmeßsystems können die Auslenkungen einer Membran mit einem Gesamtmeßfehler von 0,6% ermittelt werden.

Item Type: Diploma Thesis or Magisterarbeit
Erschienen: 1998
Creators: Kolarsky, Jens
Title: Vermessung von dünnen Edelstahlmembranen
Language: German
Abstract:

Zusammenfassung:

Durch Optimierung der geometrischen Gestaltung der Trennmembran von Drucksensoren können systematische Meßfehler reduziert werden. Wünschenswert ist ein linearer Zusammenhang zwischen anliegendem Druck und der Auslenkung.

In dieser Arbeit wurde ein Meßstand realisiert, mit dem Biegelinien von Trennmembranen bei verschiedenen Drücken meßtechnisch ermittelt werden können. Die Membranoberfläche wird mit einem Abstandsmeßgerät in einem Freiheitsgrad berührungslos abgetastet. Die Abtastbewegung ist durch einen Linearvorschub realisiert. Eine Präzisionsdruckquelle liefert die Drücke, um die Membran auszulenken. Um eine komfortabele Messung zu ermöglichen, ist der Meßplatz rechnergesteuert. Die Membran kann mit einem Heizelement erwärmt werden, um das Temperaturverhalten zu untersuchen.

Eine unter MATLAB programmierte Software visualisiert und korrigiert die gemessenen Daten und berechnet die Werte für Mittenauslenkung und Schluckvolumen der Membran. Der Begriff Schluckvolumen steht für das Volumen unter der ausgelenkten Membran. Bezogen auf den Meßbereichsendwert des Abstandsmeßsystems können die Auslenkungen einer Membran mit einem Gesamtmeßfehler von 0,6% ermittelt werden.

Uncontrolled Keywords: Elektromechanische Konstruktionen, Mikro- und Feinwerktechnik, Abstandsmessung optisch, Heizungsprinzipien, Membranvermessung, Positionierung µm-Bereich
Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design > Measurement and Sensor Technology
Date Deposited: 09 Sep 2011 16:30
Additional Information:

EMK-spezifische Daten:

Lagerort Dokument: Archiv EMK, Kontakt über Sekretariate,

Bibliotheks-Sigel: 17/24 EMKD 1402

Art der Arbeit: Diplomarbeit

Beginn Datum: 24-11-1997

Ende Datum: 09-03-1998

Querverweis: 17/24 EMKS 1357, 17/24 EMKD 1376

Studiengang: Elektrotechnik (ET)

Vertiefungsrichtung: Elektromechanische Konstruktionen (EMK)

Abschluss: Diplom (EMK)

Identification Number: 17/24 EMKD 1402
Referees: Hohlfeld, Dipl.-Ing. Olaf and Werthschützky, Prof. Dr.- Roland
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