TU Darmstadt / ULB / TUbiblio

Durchflusssensor für Gase

Stöber, Boris (1998)
Durchflusssensor für Gase.
Technische Universität Darmstadt
Studienarbeit, Bibliographie

Kurzbeschreibung (Abstract)

Zusammenfassung:

Im Mittelpunkt der Studienarbeit steht ein Sensorelement zur Durchflußmessung, das von der Fraunhofergesellschaft (FhG IMS) in CMOS-Technik präpariert wird. Es arbeitet nach einem kalorimetrischen Prinzip, bei dem die Wärmeabgabe an das vorbeiströmende Medium ein Maß für dessen Strömungsgeschwindigkeit ist.

Ein thermisch isolierter Teil des Siliziumchips wird elektrisch geheizt. Dioden auf dem Chip werden als Temperaturaufnehmer verwendet.

Untersuchungen sollen zeigen, ob das Sensorelement zur Bestimmung des Atemluftvolumens in einem Beatmungsgerät der Firma Dräger eingesetzt werden kann.

Der Prototyp des gesamten Durchflußsensors besteht aus zwei Teilen: der Meßstrecke und der Sensorelektronik. Die Meßstrecke dient der Anbindung des Sensorelements an das strömende Medium. Die Elektronik sorgt für eine konstante Übertemperatur auf dem Chip. Die dafür nötige Heizpannung dient als Sensorausgangssignal.

Kennwerte des Sensors:

* Meßbereich: 0,15-180 l/min

* Genauigkeit:

0-2l/min...............0,2l/min

> 2-10l/min..........4% ist

> 10-180l/min.......2,5% ist

* Eigenstörungen (q=0): 1,1mV

* t90-Ansprechzeit: 2ms

* nichtmonotones statisches Übertragungsverhalten

Im Rahmen der Arbeit wird ein thermisches Netzwerkmodell erstellt, das das Übertragungsverhalten des Sensors beschreibt. Darauf aufbauend werden Empfehlungen für eine neue Struktur des Elements angegeben, die auf ein monotones statisches Übertragungsverhalten des Sensors abzielen.

Typ des Eintrags: Studienarbeit
Erschienen: 1998
Autor(en): Stöber, Boris
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: Durchflusssensor für Gase
Sprache: Deutsch
Referenten: Werthschützky, Prof. Dr.- Roland
Publikationsjahr: 27 Februar 1998
Zugehörige Links:
Kurzbeschreibung (Abstract):

Zusammenfassung:

Im Mittelpunkt der Studienarbeit steht ein Sensorelement zur Durchflußmessung, das von der Fraunhofergesellschaft (FhG IMS) in CMOS-Technik präpariert wird. Es arbeitet nach einem kalorimetrischen Prinzip, bei dem die Wärmeabgabe an das vorbeiströmende Medium ein Maß für dessen Strömungsgeschwindigkeit ist.

Ein thermisch isolierter Teil des Siliziumchips wird elektrisch geheizt. Dioden auf dem Chip werden als Temperaturaufnehmer verwendet.

Untersuchungen sollen zeigen, ob das Sensorelement zur Bestimmung des Atemluftvolumens in einem Beatmungsgerät der Firma Dräger eingesetzt werden kann.

Der Prototyp des gesamten Durchflußsensors besteht aus zwei Teilen: der Meßstrecke und der Sensorelektronik. Die Meßstrecke dient der Anbindung des Sensorelements an das strömende Medium. Die Elektronik sorgt für eine konstante Übertemperatur auf dem Chip. Die dafür nötige Heizpannung dient als Sensorausgangssignal.

Kennwerte des Sensors:

* Meßbereich: 0,15-180 l/min

* Genauigkeit:

0-2l/min...............0,2l/min

> 2-10l/min..........4% ist

> 10-180l/min.......2,5% ist

* Eigenstörungen (q=0): 1,1mV

* t90-Ansprechzeit: 2ms

* nichtmonotones statisches Übertragungsverhalten

Im Rahmen der Arbeit wird ein thermisches Netzwerkmodell erstellt, das das Übertragungsverhalten des Sensors beschreibt. Darauf aufbauend werden Empfehlungen für eine neue Struktur des Elements angegeben, die auf ein monotones statisches Übertragungsverhalten des Sensors abzielen.

Freie Schlagworte: Elektromechanische Konstruktionen, Mikro- und Feinwerktechnik, Durchflusssensor Dynamik, Durchflusssensor thermisch, Elektrisches Ersatzschaltbild thermischer Systeme, Fehler zufällig, Thermisches Ersatzschaltbild
ID-Nummer: 17/24 EMKS 1364
Zusätzliche Informationen:

EMK-spezifische Daten:

Lagerort Dokument: Archiv EMK, Kontakt über Sekretariate,

Bibliotheks-Sigel: 17/24 EMKS 1364

Art der Arbeit: Studienarbeit

Beginn Datum: 06-05-1997

Ende Datum: 27-02-1998

Querverweis: 17/24 EMKD 1311

Studiengang: Elektrotechnik (ET)

Vertiefungsrichtung: Elektromechanische Konstruktionen (Dipl.)

Abschluss: Diplom (EMK)

Fachbereich(e)/-gebiet(e): 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018)
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mess- und Sensortechnik
Hinterlegungsdatum: 13 Sep 2011 07:13
Letzte Änderung: 05 Mär 2013 09:53
PPN:
Referenten: Werthschützky, Prof. Dr.- Roland
Zugehörige Links:
Export:
Suche nach Titel in: TUfind oder in Google
Frage zum Eintrag Frage zum Eintrag

Optionen (nur für Redakteure)
Redaktionelle Details anzeigen Redaktionelle Details anzeigen