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Miniaturisierter Differenzdrucksensor für kleine Messbereiche

Lang, Roland (1997):
Miniaturisierter Differenzdrucksensor für kleine Messbereiche.
Technische Universität Darmstadt, [Seminar paper (Midterm)]

Abstract

Zusammenfassung:

Gegenstand dieser Studienarbeit ist die Entwicklung eines miniaturisierten Differenzdrucksensors mit piezoresistiven Siliziumsensor, der zur Durchflussmessung nach dem Wirkdruckverfahren eingesetzt wird.

Aufbauend auf einem Entwurfsalgorithmus zur Bestimmung des statischen und dynamischen Übertragungsverhaltens wird in der vorliegenden Arbeit ein Gesamtkonzept für den Entwurf eines optimierten Sensorgehäuses erarbeitet.

Die Sammlung und Bewertung der dafür nötigen konstruktiven und technologischen Parameter stellt eine Hauptaufgabe dar. Es werden eine Reihe von Konstruktionen erarbeitet, um einen den gegebenen Anforderungen entsprechenden Sensor zu erhalten. Es existieren 3 vollständige Entwürfe (Werkstattzeichungen) und 4 Konstruktionsvorschläge. Im zweiten Teil der Arbeit werden Untersuchungen an Prototypen durchgeführt, um die Aussagen des Entwurfsalgorithmus bezüglich des statischen und dynamischen Uebertragungsverhaltens zu verifizieren. Eine endgültige Auswertung der Messergebisse konnte auf Grund fehlender Referenzdaten nicht vorgenommen werden.

Die Ergebisse lassen aber auf die prinzipielle Richtigkeit des Algorithmus schliessen.

Item Type: Seminar paper (Midterm)
Erschienen: 1997
Creators: Lang, Roland
Title: Miniaturisierter Differenzdrucksensor für kleine Messbereiche
Language: German
Abstract:

Zusammenfassung:

Gegenstand dieser Studienarbeit ist die Entwicklung eines miniaturisierten Differenzdrucksensors mit piezoresistiven Siliziumsensor, der zur Durchflussmessung nach dem Wirkdruckverfahren eingesetzt wird.

Aufbauend auf einem Entwurfsalgorithmus zur Bestimmung des statischen und dynamischen Übertragungsverhaltens wird in der vorliegenden Arbeit ein Gesamtkonzept für den Entwurf eines optimierten Sensorgehäuses erarbeitet.

Die Sammlung und Bewertung der dafür nötigen konstruktiven und technologischen Parameter stellt eine Hauptaufgabe dar. Es werden eine Reihe von Konstruktionen erarbeitet, um einen den gegebenen Anforderungen entsprechenden Sensor zu erhalten. Es existieren 3 vollständige Entwürfe (Werkstattzeichungen) und 4 Konstruktionsvorschläge. Im zweiten Teil der Arbeit werden Untersuchungen an Prototypen durchgeführt, um die Aussagen des Entwurfsalgorithmus bezüglich des statischen und dynamischen Uebertragungsverhaltens zu verifizieren. Eine endgültige Auswertung der Messergebisse konnte auf Grund fehlender Referenzdaten nicht vorgenommen werden.

Die Ergebisse lassen aber auf die prinzipielle Richtigkeit des Algorithmus schliessen.

Uncontrolled Keywords: Elektromechanische Konstruktionen, Mikro- und Feinwerktechnik, Differenzdrucksensor, Drucksensoren piezoresistiv, Entwurfsalgorithmus, Miniaturisierung, Sensorkonstruktion
Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design > Measurement and Sensor Technology
Date Deposited: 14 Sep 2011 07:32
Additional Information:

EMK-spezifische Daten:

Lagerort Dokument: Archiv EMK, Kontakt über Sekretariate,

Bibliotheks-Sigel: 17/24 EMKS 1326

Art der Arbeit: Studienarbeit

Beginn Datum: 20-05-1996

Ende Datum: 21-02-1997

Querverweis: 17/24 EMKD 1295

Studiengang: Elektrotechnik (ET)

Vertiefungsrichtung: Elektromechanische Konstruktionen (Dipl.)

Abschluss: Diplom (EMK)

Identification Number: 17/24 EMKS 1326
Referees: Hohlfeld, Dipl.-Ing. Olaf and Werthschützky, Prof. Dr.- Roland
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