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Miniaturisierter Differenzdrucksensor

Steingrübner, Mihai (1996):
Miniaturisierter Differenzdrucksensor.
Technische Universität Darmstadt, [Diploma Thesis or Magisterarbeit]

Abstract

Zusammenfassung:

Gegenstand dieser Diplomarbeit ist die Entwicklung eines miniaturisierten Differenzdrucksensors für das Einsatzgebiet der Durchflußmessung nach dem Wirkdruckverfahren.

In der vorliegenden Arbeit erfolgt eine Sammlung und Bewertung von Wirkprinzipien für die Differenzdruckmessung. Ausgehend von der Auswahl eines geeigneten Primärsensors werden in einem Entwurfskatalog Grobkonstruktionen für miniaturisierte Differenzdrucksensoren zusammengefaßt.

Im Mittelpunkt der Diplomarbeit steht die Ableitung eines geschlossenen Entwurfsalgorithmus für den quasistatischen und dynamischen Einsatzfall des Sensors. Auf der Basis dieser Entwurfsgrundlagen werden zwei Sensoren entwickelt und untersucht und eine Fehlerabschätzung durchgeführt. Die erarbeiteten Feinentwürfe dienen als Vorlage für den vorgesehenen Bau und Test von Prototypen zur Differenzdruckmessung an Blenden und Sonden.

Technische Daten:

* Differenz-Nenndruckbereich: 0 - 2 kPa (0 - 20 mbar)

* Wandlersystem: piezoresistiv

* Aufbau: Edelstahlgehäuse mit Trennmembranen

* Durchmesser: 9 mm

* Bautiefe: 9.8 mm

Item Type: Diploma Thesis or Magisterarbeit
Erschienen: 1996
Creators: Steingrübner, Mihai
Title: Miniaturisierter Differenzdrucksensor
Language: German
Abstract:

Zusammenfassung:

Gegenstand dieser Diplomarbeit ist die Entwicklung eines miniaturisierten Differenzdrucksensors für das Einsatzgebiet der Durchflußmessung nach dem Wirkdruckverfahren.

In der vorliegenden Arbeit erfolgt eine Sammlung und Bewertung von Wirkprinzipien für die Differenzdruckmessung. Ausgehend von der Auswahl eines geeigneten Primärsensors werden in einem Entwurfskatalog Grobkonstruktionen für miniaturisierte Differenzdrucksensoren zusammengefaßt.

Im Mittelpunkt der Diplomarbeit steht die Ableitung eines geschlossenen Entwurfsalgorithmus für den quasistatischen und dynamischen Einsatzfall des Sensors. Auf der Basis dieser Entwurfsgrundlagen werden zwei Sensoren entwickelt und untersucht und eine Fehlerabschätzung durchgeführt. Die erarbeiteten Feinentwürfe dienen als Vorlage für den vorgesehenen Bau und Test von Prototypen zur Differenzdruckmessung an Blenden und Sonden.

Technische Daten:

* Differenz-Nenndruckbereich: 0 - 2 kPa (0 - 20 mbar)

* Wandlersystem: piezoresistiv

* Aufbau: Edelstahlgehäuse mit Trennmembranen

* Durchmesser: 9 mm

* Bautiefe: 9.8 mm

Uncontrolled Keywords: Elektromechanische Konstruktionen, Mikro- und Feinwerktechnik, Differenzdrucksensor, Entwurfsalgorithmus, Gestaltungskriterien Membran, Netzwerksimulation, Sensorkonstruktion
Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design > Measurement and Sensor Technology
Date Deposited: 30 Sep 2011 09:15
Additional Information:

EMK-spezifische Daten:

Lagerort Dokument: Archiv EMK, Kontakt über Sekretariate,

Bibliotheks-Sigel: 17/24 EMKD 1295

Art der Arbeit: Diplomarbeit

Beginn Datum: 13-11-1995

Ende Datum: 19-02-1996

Querverweis: keiner

Studiengang: Elektrotechnik (ET)

Vertiefungsrichtung: Elektromechanische Konstruktionen (Dipl.)

Abschluss: Diplom (EMK)

Identification Number: 17/24 EMKD 1295
Referees: Werthschützky, Prof. Dr.- Roland
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