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Möglichkeiten von Greifen und Halten mikromechanischer Bauelemente

Hartmann, Franz (1990):
Möglichkeiten von Greifen und Halten mikromechanischer Bauelemente.
Technische Universität Darmstadt, [Diploma Thesis or Magisterarbeit]

Abstract

Zusammenfassung:

Durch die Entwicklungen in der Mikroelektronik sind auch die Möglichkeiten zur Herstellung mikromechanischer Bauelemente stark erweitert worden. In der Regel ist die Montage solcher Bauteile nach deren Fertigungsprozeß unerläßlich. Eine besondere Rolle spielt dabei das Greifen und Festhalten dieser Objekte, da sie naturgemäß sehr klein und empfindlich sind.

Welche Möglichkeiten hierzu - unter Berücksichtigung der besonderen Eigenschaften mikromechanischer Bauelemente - zur Verfügung stehen, versucht diese Diplomarbeit aufzuklären. Verschiedene physikalische Feldkräfte, mit denen Einfluß auf Bauteile genommen werden kann, werden mit ihren Größenordnungen und ihrem Für und Wider erörtert.

Zur Erzeugung kraftschlüssiger Halteverbindungen werden anhand des Pinzettenprinzips verschiedene Varianten vorgeschlagen und ihre Vor- und Nachteile beschrieben. Im Zusammenhang mit stoffschlüssigen Verbindungen werden adhäsive Greifverfahren und das damit einhergehende Problem des Wiederablösens der Bauelemente besprochen. Berücksichtigt werden Verfahren, welche das Aufschmelzen eines auf den Bauteilen befindlichen Schutzüberzuges ausnutzen. Als weitere Variante wird diskutiert, wie sich die an oxidierten Siliciumoberflächen möglichen Wasserstoffbrückenbindungen mit Wasser oder Alkohol als Hilfsstoff ausnutzen lassen.

Item Type: Diploma Thesis or Magisterarbeit
Erschienen: 1990
Creators: Hartmann, Franz
Title: Möglichkeiten von Greifen und Halten mikromechanischer Bauelemente
Language: German
Abstract:

Zusammenfassung:

Durch die Entwicklungen in der Mikroelektronik sind auch die Möglichkeiten zur Herstellung mikromechanischer Bauelemente stark erweitert worden. In der Regel ist die Montage solcher Bauteile nach deren Fertigungsprozeß unerläßlich. Eine besondere Rolle spielt dabei das Greifen und Festhalten dieser Objekte, da sie naturgemäß sehr klein und empfindlich sind.

Welche Möglichkeiten hierzu - unter Berücksichtigung der besonderen Eigenschaften mikromechanischer Bauelemente - zur Verfügung stehen, versucht diese Diplomarbeit aufzuklären. Verschiedene physikalische Feldkräfte, mit denen Einfluß auf Bauteile genommen werden kann, werden mit ihren Größenordnungen und ihrem Für und Wider erörtert.

Zur Erzeugung kraftschlüssiger Halteverbindungen werden anhand des Pinzettenprinzips verschiedene Varianten vorgeschlagen und ihre Vor- und Nachteile beschrieben. Im Zusammenhang mit stoffschlüssigen Verbindungen werden adhäsive Greifverfahren und das damit einhergehende Problem des Wiederablösens der Bauelemente besprochen. Berücksichtigt werden Verfahren, welche das Aufschmelzen eines auf den Bauteilen befindlichen Schutzüberzuges ausnutzen. Als weitere Variante wird diskutiert, wie sich die an oxidierten Siliciumoberflächen möglichen Wasserstoffbrückenbindungen mit Wasser oder Alkohol als Hilfsstoff ausnutzen lassen.

Uncontrolled Keywords: Elektromechanische Konstruktionen, Mikro- und Feinwerktechnik, Greifen kraftschlüssig, Greifen stoffschlüssig, Greifer mikromechanischer Bauteile, Halten mikromechanischer Bauteile
Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design (dissolved 18.12.2018)
Date Deposited: 22 Oct 2011 10:56
Additional Information:

EMK-spezifische Daten:

Lagerort Dokument: Archiv EMK, Kontakt über Sekretariate,

Bibliotheks-Sigel: 17/24 EMKD 959

Art der Arbeit: Diplomarbeit

Beginn Datum: 19-11-1990

Ende Datum: 01-03-1991

Querverweis: keiner

Studiengang: Elektrotechnik (ET)

Vertiefungsrichtung: Elektromechanische Konstruktionen (EMK)

Abschluss: Diplom (EMK)

Identification Number: 17/24 EMKD 959
Referees: Henschke, Dipl.-Ing. Felix and Weißmantel, Prof. Dr.- Heinz
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