Schafranek, Robert ; Giere, André ; Balogh, Adam G. ; Enz, Thorsten ; Zheng, Yuliang ; Scheele, Patrick ; Jakoby, Rolf ; Klein, Andreas (2009)
Influence of sputter deposition parameters on the properties of tunable barium strontium titanate thin films for microwave applications.
In: Journal of the European Ceramic Society, 29 (8)
doi: 10.1016/j.jeurceramsoc.2008.08.034
Artikel, Bibliographie
Kurzbeschreibung (Abstract)
Barium strontium titanate (BST) thin films are studied with respect to their application as tunable dielectric at microwave frequencies. BST thin films are deposited by means of radio-frequency magnetron sputtering on platinized Si substrates. The substrate to target distance during sputter deposition is varied and the effect on structure, topology, composition and electronic properties is monitored using X-ray diffraction, atomic force microscopy, Rutherford backscattering spectrometry and X-ray photoelectron spectroscopy. These findings are related to the dielectric measurements, which are carried out at 1 MHz and in the microwave range up to 8 GHz using metal-insulator-metal structures with Pt electrodes. For further device evaluation, leakage current measurements are carried out. Changing the process parameter strongly affects the composition of the films. The results emphasize the possibility for enhancing the microwave properties by fine-tuning of the chosen process parameter.
| Typ des Eintrags: | Artikel |
|---|---|
| Erschienen: | 2009 |
| Autor(en): | Schafranek, Robert ; Giere, André ; Balogh, Adam G. ; Enz, Thorsten ; Zheng, Yuliang ; Scheele, Patrick ; Jakoby, Rolf ; Klein, Andreas |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Influence of sputter deposition parameters on the properties of tunable barium strontium titanate thin films for microwave applications |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | Mai 2009 |
| Verlag: | Elsevier Science Publishing Company |
| Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | Journal of the European Ceramic Society |
| Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: | 29 |
| (Heft-)Nummer: | 8 |
| DOI: | 10.1016/j.jeurceramsoc.2008.08.034 |
| Kurzbeschreibung (Abstract): | Barium strontium titanate (BST) thin films are studied with respect to their application as tunable dielectric at microwave frequencies. BST thin films are deposited by means of radio-frequency magnetron sputtering on platinized Si substrates. The substrate to target distance during sputter deposition is varied and the effect on structure, topology, composition and electronic properties is monitored using X-ray diffraction, atomic force microscopy, Rutherford backscattering spectrometry and X-ray photoelectron spectroscopy. These findings are related to the dielectric measurements, which are carried out at 1 MHz and in the microwave range up to 8 GHz using metal-insulator-metal structures with Pt electrodes. For further device evaluation, leakage current measurements are carried out. Changing the process parameter strongly affects the composition of the films. The results emphasize the possibility for enhancing the microwave properties by fine-tuning of the chosen process parameter. |
| Freie Schlagworte: | Dielectric properties; Functional applications; Microwave applications; Films; BaTiO3 and titanates |
| Zusätzliche Informationen: | SFB 595 Cooperation B2, D3 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft > Fachgebiet Oberflächenforschung 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Mikrowellentechnik und Photonik (IMP) > Mikrowellentechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Mikrowellentechnik und Photonik (IMP) DFG-Sonderforschungsbereiche (inkl. Transregio) DFG-Sonderforschungsbereiche (inkl. Transregio) > Sonderforschungsbereiche Zentrale Einrichtungen DFG-Sonderforschungsbereiche (inkl. Transregio) > Sonderforschungsbereiche > SFB 595: Elektrische Ermüdung DFG-Sonderforschungsbereiche (inkl. Transregio) > Sonderforschungsbereiche > SFB 595: Elektrische Ermüdung > B - Charakterisierung DFG-Sonderforschungsbereiche (inkl. Transregio) > Sonderforschungsbereiche > SFB 595: Elektrische Ermüdung > B - Charakterisierung > Teilprojekt B2: Untersuchung der Defektstruktur und Diffusion in ferroelektrischen Materialien DFG-Sonderforschungsbereiche (inkl. Transregio) > Sonderforschungsbereiche > SFB 595: Elektrische Ermüdung > D - Bauteileigenschaften DFG-Sonderforschungsbereiche (inkl. Transregio) > Sonderforschungsbereiche > SFB 595: Elektrische Ermüdung > D - Bauteileigenschaften > Teilprojekt D3: Funktion und Ermüdung oxidischer Elektroden in organischen Leuchtdioden |
| Hinterlegungsdatum: | 10 Aug 2011 10:52 |
| Letzte Änderung: | 29 Jan 2019 09:34 |
| PPN: | |
| Sponsoren: | This work was supported by the German Research Foundation (DFG) within the DFG Research Training Group 1037 “Tunable integrated components in microwave technology and optics (TICMO)” and the European network of Excellence FAME. |
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