TU Darmstadt / ULB / TUbiblio

Zirconia and hafnia films from single source molecular precursor compounds: Synthesis, characterization and insulating properties of potential high k-dielectrics

Schneider, Jörg J. ; Hoffmann, Rudolf C. ; Issanin, Alexander ; Dilfer, Stefan (2011)
Zirconia and hafnia films from single source molecular precursor compounds: Synthesis, characterization and insulating properties of potential high k-dielectrics.
In: Materials Science and Engineering B , 176 (13)
doi: 10.1016/j.mseb.2011.05.024
Artikel, Bibliographie

Typ des Eintrags: Artikel
Erschienen: 2011
Autor(en): Schneider, Jörg J. ; Hoffmann, Rudolf C. ; Issanin, Alexander ; Dilfer, Stefan
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: Zirconia and hafnia films from single source molecular precursor compounds: Synthesis, characterization and insulating properties of potential high k-dielectrics
Sprache: Englisch
Publikationsjahr: 15 August 2011
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: Materials Science and Engineering B
Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: 176
(Heft-)Nummer: 13
DOI: 10.1016/j.mseb.2011.05.024
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften
11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft
11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft > Fachgebiet Oberflächenforschung
16 Fachbereich Maschinenbau
16 Fachbereich Maschinenbau > Institut für Druckmaschinen und Druckverfahren (IDD)
Hinterlegungsdatum: 15 Jul 2011 07:04
Letzte Änderung: 26 Mär 2015 09:55
PPN:
Export:
Suche nach Titel in: TUfind oder in Google
Frage zum Eintrag Frage zum Eintrag

Optionen (nur für Redakteure)
Redaktionelle Details anzeigen Redaktionelle Details anzeigen