Schwalke, Udo (2008)
Damascene Metal Gate Technology: A Solution to High-K Gate Stack Challenges?
DPG Spring Meeting. Berlin, Deutschland (25.-29.02.2008)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Konferenzveröffentlichung |
|---|---|
| Erschienen: | 2008 |
| Autor(en): | Schwalke, Udo |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Damascene Metal Gate Technology: A Solution to High-K Gate Stack Challenges? |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 29 Februar 2008 |
| Veranstaltungstitel: | DPG Spring Meeting |
| Veranstaltungsort: | Berlin, Deutschland |
| Veranstaltungsdatum: | 25.-29.02.2008 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Halbleitertechnik und Nanoelektronik |
| Hinterlegungsdatum: | 01 Jul 2011 08:42 |
| Letzte Änderung: | 26 Aug 2018 21:26 |
| PPN: | |
| Export: | |
| Suche nach Titel in: | TUfind oder in Google |
 |
Frage zum Eintrag |
Optionen (nur für Redakteure)
 |
Redaktionelle Details anzeigen |
Drucken
Impressum