Wirbeleit, F. ; Pedrero, V. ; Thron, D. ; Stephan, R. ; Schwalke, Udo (2008)
Optical Detection of SiN Stress Layer Induced Carrier Mobility Enhancement in Silicon.
Material Research Society (MRS). San Francisco, CA, USA (24.-28.03.2008)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Konferenzveröffentlichung |
|---|---|
| Erschienen: | 2008 |
| Autor(en): | Wirbeleit, F. ; Pedrero, V. ; Thron, D. ; Stephan, R. ; Schwalke, Udo |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Optical Detection of SiN Stress Layer Induced Carrier Mobility Enhancement in Silicon |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 28 März 2008 |
| Veranstaltungstitel: | Material Research Society (MRS) |
| Veranstaltungsort: | San Francisco, CA, USA |
| Veranstaltungsdatum: | 24.-28.03.2008 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Halbleitertechnik und Nanoelektronik |
| Hinterlegungsdatum: | 01 Jul 2011 08:24 |
| Letzte Änderung: | 05 Mär 2013 09:50 |
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