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Prozessintegration und elektrische Charakterisierung von kristallinen Gd2O3 High-k Dielektrika

Endres, Ralf and Schwalke, Udo (2010):
Prozessintegration und elektrische Charakterisierung von kristallinen Gd2O3 High-k Dielektrika.
In: VDE-Fachgruppentagung 8.5.6 - fWLR / Wafer Level Reliability, Erfurt, Deutschland, 17.-18.05.2010, [Conference or Workshop Item]

Item Type: Conference or Workshop Item
Erschienen: 2010
Creators: Endres, Ralf and Schwalke, Udo
Title: Prozessintegration und elektrische Charakterisierung von kristallinen Gd2O3 High-k Dielektrika
Language: German
Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Semiconductor Technology and Nano-Electronics
Event Title: VDE-Fachgruppentagung 8.5.6 - fWLR / Wafer Level Reliability
Event Location: Erfurt, Deutschland
Event Dates: 17.-18.05.2010
Date Deposited: 28 Jun 2011 10:17
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