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Application and comparison of alternative position sensors in high-accuracy control of an X-Y table

Fischer, Martin :
Application and comparison of alternative position sensors in high-accuracy control of an X-Y table.
In: International Workshop on Advanced Motion Control AMC '96-MIE <4, 1996, Tsu-City, Japan>: Proceedings . IEEE , Piscataway, NJ
[Konferenz- oder Workshop-Beitrag], (1996)

Typ des Eintrags: Konferenz- oder Workshop-Beitrag (Keine Angabe)
Erschienen: 1996
Autor(en): Fischer, Martin
Titel: Application and comparison of alternative position sensors in high-accuracy control of an X-Y table
Sprache: Englisch
Reihe: International Workshop on Advanced Motion Control AMC '96-MIE <4, 1996, Tsu-City, Japan>: Proceedings
Ort: Piscataway, NJ
Verlag: IEEE
Edition: Piscataway, NJ: IEEE, 1996
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 16:00
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