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Ultraschall-Mikrophone aus Silizium

Thielemann, Christiane ; Heß, ; Kühnel, ; Glaser, ; Heß, ; Kühnel, ; Glaser, :
Ultraschall-Mikrophone aus Silizium.
In: Fortschritte der Akustik: DAGA 96; 22. Jahrstagung für Akustik in Bonn. Hrsg.: W. Hess (u.a.) - Oldenburg 1996. S. 464 .
[Konferenz- oder Workshop-Beitrag], (1996)

Typ des Eintrags: Konferenz- oder Workshop-Beitrag (Keine Angabe)
Erschienen: 1996
Autor(en): Thielemann, Christiane ; Heß, ; Kühnel, ; Glaser, ; Heß, ; Kühnel, ; Glaser,
Titel: Ultraschall-Mikrophone aus Silizium
Sprache: Deutsch
Reihe: Fortschritte der Akustik: DAGA 96; 22. Jahrstagung für Akustik in Bonn. Hrsg.: W. Hess (u.a.) - Oldenburg 1996. S. 464
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 16:00
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