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Inorganic electret membrane for a silicon-microphone

Thielemann, Christiane ; Heß, ; Heß, :
Inorganic electret membrane for a silicon-microphone.
In: Proceedings of Eurosensors X, the 10th European Conference on Solid-State Transducers, Sept. 1996, Leuven, Belgium. S. 1097-1100 . Catholic Univ. Leuven , Heverlee, Belgium
[Konferenz- oder Workshop-Beitrag], (1996)

Typ des Eintrags: Konferenz- oder Workshop-Beitrag (Keine Angabe)
Erschienen: 1996
Autor(en): Thielemann, Christiane ; Heß, ; Heß,
Titel: Inorganic electret membrane for a silicon-microphone
Sprache: Englisch
Reihe: Proceedings of Eurosensors X, the 10th European Conference on Solid-State Transducers, Sept. 1996, Leuven, Belgium. S. 1097-1100
Ort: Heverlee, Belgium
Verlag: Catholic Univ. Leuven
Edition: Heverlee, Belgium: Catholic Univ. Leuven, 1996
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 16:00
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