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Silicon-based inorganic electrets for application in micromachined devices

Amjadi, Houman :
Silicon-based inorganic electrets for application in micromachined devices.
In: IEEE Transactions on dielectrics and electrical insulation. 3 (1996), No. 4, S. 494-498
[Artikel], (1996)

Typ des Eintrags: Artikel
Erschienen: 1996
Autor(en): Amjadi, Houman
Titel: Silicon-based inorganic electrets for application in micromachined devices
Sprache: Englisch
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: IEEE Transactions on dielectrics and electrical insulation. 3 (1996), No. 4, S. 494-498
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 16:00
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