Amjadi, Houman
:
Silicon-based inorganic electrets for application in micromachined devices.
In:
IEEE Transactions on dielectrics and electrical insulation. 3 (1996), No. 4, S. 494-498
[Artikel], (1996)
| Typ des Eintrags: | Artikel |
|---|---|
| Erschienen: | 1996 |
| Autor(en): | Amjadi, Houman |
| Titel: | Silicon-based inorganic electrets for application in micromachined devices |
| Sprache: | Englisch |
| Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | IEEE Transactions on dielectrics and electrical insulation. 3 (1996), No. 4, S. 494-498 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik |
| Hinterlegungsdatum: | 19 Nov 2008 16:00 |
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