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Simulation von Mikrosystemen

Hardt, Steffen (2002):
Simulation von Mikrosystemen.
In: Handbuch Mikrotechnik, München, Carl Hanser Verlag, pp. 41-82, [Book Section]

Item Type: Book Section
Erschienen: 2002
Creators: Hardt, Steffen
Title: Simulation von Mikrosystemen
Language: German
Title of Book: Handbuch Mikrotechnik
Place of Publication: München
Publisher: Carl Hanser Verlag
Divisions: Zentrale Einrichtungen
UNSPECIFIED
16 Department of Mechanical Engineering > Institute for Nano- and Microfluidics (NMF)
16 Department of Mechanical Engineering
Date Deposited: 14 Apr 2011 12:38
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