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Mikromechanischer Überlastschutz für Drucksensoren durch strukturierte Gegenlager aus Glas

Kober, Timo and Werthschützky, Roland (2010):
Mikromechanischer Überlastschutz für Drucksensoren durch strukturierte Gegenlager aus Glas.
In: Sensoren und Messsysteme 2010; Vorträge der 15. ITG/GMA-Fachtagung, Nürnberg, 18.-19.05.2010, pp. 40-43, [Conference or Workshop Item]

Item Type: Conference or Workshop Item
Erschienen: 2010
Creators: Kober, Timo and Werthschützky, Roland
Title: Mikromechanischer Überlastschutz für Drucksensoren durch strukturierte Gegenlager aus Glas
Language: German
Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design > Measurement and Sensor Technology
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
Event Title: Sensoren und Messsysteme 2010; Vorträge der 15. ITG/GMA-Fachtagung
Event Location: Nürnberg
Event Dates: 18.-19.05.2010
Date Deposited: 02 Nov 2010 15:22
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