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Mikromechanischer Überlastschutz für Drucksensoren durch strukturierte Gegenlager aus Glas

Kober, Timo ; Werthschützky, Roland (2010)
Mikromechanischer Überlastschutz für Drucksensoren durch strukturierte Gegenlager aus Glas.
Sensoren und Messsysteme 2010; Vorträge der 15. ITG/GMA-Fachtagung. Nürnberg (18.-19.05.2010)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Typ des Eintrags: Konferenzveröffentlichung
Erschienen: 2010
Autor(en): Kober, Timo ; Werthschützky, Roland
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: Mikromechanischer Überlastschutz für Drucksensoren durch strukturierte Gegenlager aus Glas
Sprache: Deutsch
Publikationsjahr: 18 Mai 2010
Veranstaltungstitel: Sensoren und Messsysteme 2010; Vorträge der 15. ITG/GMA-Fachtagung
Veranstaltungsort: Nürnberg
Veranstaltungsdatum: 18.-19.05.2010
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mess- und Sensortechnik
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018)
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Hinterlegungsdatum: 02 Nov 2010 15:22
Letzte Änderung: 05 Mär 2013 09:41
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