Schlosser, Michael ; Staab, Matthias ; Schlaak, Helmut F. (2010)
Nasschemisches Entfernen dicker SU-8-Schichten aus galvanisch abgeschiedenen Strukturen.
Vorträge des 2. GMM-Workshops. Darmstadt, Germany (10.-11. Mai. 2010)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Konferenzveröffentlichung |
|---|---|
| Erschienen: | 2010 |
| Autor(en): | Schlosser, Michael ; Staab, Matthias ; Schlaak, Helmut F. |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Nasschemisches Entfernen dicker SU-8-Schichten aus galvanisch abgeschiedenen Strukturen |
| Sprache: | Deutsch |
| Publikationsjahr: | 10 Mai 2010 |
| Buchtitel: | Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik (GMM-FB 65) |
| Veranstaltungstitel: | Vorträge des 2. GMM-Workshops |
| Veranstaltungsort: | Darmstadt, Germany |
| Veranstaltungsdatum: | 10.-11. Mai. 2010 |
| URL / URN: | http://www.vde-verlag.de/proceedings-de/453253006.html |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018) 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik |
| Hinterlegungsdatum: | 27 Sep 2010 06:39 |
| Letzte Änderung: | 19 Apr 2016 08:25 |
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