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Nasschemisches Entfernen dicker SU-8-Schichten aus galvanisch abgeschiedenen Strukturen

Schlosser, Michael and Staab, Matthias and Schlaak, Helmut F. (2010):
Nasschemisches Entfernen dicker SU-8-Schichten aus galvanisch abgeschiedenen Strukturen.
In: Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik (GMM-FB 65), In: Vorträge des 2. GMM-Workshops, Darmstadt, Germany, 10.-11. Mai. 2010, [Online-Edition: http://www.vde-verlag.de/proceedings-de/453253006.html],
[Conference or Workshop Item]

Item Type: Conference or Workshop Item
Erschienen: 2010
Creators: Schlosser, Michael and Staab, Matthias and Schlaak, Helmut F.
Title: Nasschemisches Entfernen dicker SU-8-Schichten aus galvanisch abgeschiedenen Strukturen
Language: German
Title of Book: Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik (GMM-FB 65)
Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design > Microtechnology and Electromechanical Systems
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
Event Title: Vorträge des 2. GMM-Workshops
Event Location: Darmstadt, Germany
Event Dates: 10.-11. Mai. 2010
Date Deposited: 27 Sep 2010 06:39
Official URL: http://www.vde-verlag.de/proceedings-de/453253006.html
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