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Electrochemical deposition of Pd, Ti, and Ge for applications in GaAs technology

Schüßler, Martin ; Statzner, ; Lin, ; Krozer, ; Horn, ; Hartnagel, Hans L. :
Electrochemical deposition of Pd, Ti, and Ge for applications in GaAs technology.
In: Journal of the Electrochemical Society. 143 (1996), No. 4, S. 73-75
[Artikel], (1996)

Typ des Eintrags: Artikel
Erschienen: 1996
Autor(en): Schüßler, Martin ; Statzner, ; Lin, ; Krozer, ; Horn, ; Hartnagel, Hans L.
Titel: Electrochemical deposition of Pd, Ti, and Ge for applications in GaAs technology
Sprache: Englisch
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: Journal of the Electrochemical Society. 143 (1996), No. 4, S. 73-75
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 15:59
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