Integration von Nanodrahtarrays in Mikrosysteme für die Gasflusssensorik

Quednau, Sebastian ; Greiner, P. F. ; Schlaak, Helmut F. ; Rauber, Markus ; Ensinger, Wolfgang ; Neumann, Reinhard (2010)
Integration von Nanodrahtarrays in Mikrosysteme für die Gasflusssensorik.
In: GMM Fachbericht 63 "Mikro-Nano-Integration", 2010
Buchkapitel, Zweitveröffentlichung

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URL / URN: urn:nbn:de:tuda-tuprints-21649

Kurzbeschreibung (Abstract)

Nanodrähte sind durch ihr großes Oberflächen/Volumen-Verhältnis von hier etwa 1,6·10^7 m²/m³ ein interessantes Untersuchungsobjekt zur Minimierung der Ansprechzeit von Mikrogasflusssensoren. Diese Arbeit beschreibt die Modellierung von Nanodrahtarrays in Gasflüssen. Sie geht auf Temperatursprünge von 1 K bei Gasflüssen < 1 m/s ein. Die Simulationsergebnisse legen nahe, dass bei Nanodrahtarrays Zeitkonstanten von < 10^-3 s und bei einzelnen Nanodrähten um mehr als drei Größenordnungen kleinere Zeitkonstanten möglich sind. Weiterhin beschreibt diese Arbeit einen Prozessablauf zur Integration von Nanodrahtarrays in ein Mikrosystem zur Gasflussanalyse. Die Bündelung von drei Nanodrahtarrays ist experimentell realisiert und vereinfacht die Handhabung bei der Montage. Sie ermöglicht eine beidseitige Kontaktierung der Nanodrahtarrays mit einer planaren Mikrostruktur.

Typ des Eintrags:

Buchkapitel

Erschienen:

2010

Autor(en):

Quednau, Sebastian ; Greiner, P. F. ; Schlaak, Helmut F. ; Rauber, Markus ; Ensinger, Wolfgang ; Neumann, Reinhard

Art des Eintrags:

Zweitveröffentlichung

Titel:

Integration von Nanodrahtarrays in Mikrosysteme für die Gasflusssensorik

Sprache:

Deutsch

Publikationsjahr:

3 März 2010

Ort:

Darmstadt

Publikationsdatum der Erstveröffentlichung:

2010

Verlag:

VDE VERLAG GMBH

(Heft-)Nummer:

Buchtitel:

GMM Fachbericht 63 "Mikro-Nano-Integration"

URL / URN:

urn:nbn:de:tuda-tuprints-21649

Kurzbeschreibung (Abstract):

Alternatives oder übersetztes Abstract:

Alternatives Abstract

Sprache

The surface-area-to-volume ratio of about 1,6·10^7 m²/m³ makes the examined nanowires an interesting subject to analyze for the minimization of micro flow sensor's response time. This paper depicts the modeling of nanowire arrays in gas flows. It dwells on sudden temperature changes of 1 K at gas flows < 1 m/s. The simulation results suggest time constants of < 10^-3 s for nanowire arrays and more than three orders of magnitude less ones for single nanowires. Furthermore, this paper discusses a process flow for the integration of nanowire arrays in a microsystem for gas flow analysis. The grouping of three nanowire arrays is experimentally realized and eases the handling during the assembly process. It enables double-sided interconnection of the nanowire arrays on a planar microstructure.

Englisch

Freie Schlagworte:

Mikro-Nano-Integration, Nanodraht, Modellierung Mikrofluss, Finite Volumen Methode, Mikrokontaktierung, Mikromontage

Zusätzliche Informationen:

2. GMM-Workshop "Mikro-Nano-Integration", 3.-4. März 2010, Erfurt

Sachgruppe der Dewey Dezimalklassifikatin (DDC):

500 Naturwissenschaften und Mathematik > 500 Naturwissenschaften
600 Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften > 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

Fachbereich(e)/-gebiet(e):

11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften
11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft
11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft > Fachgebiet Materialanalytik
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018)
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme

Hinterlegungsdatum:

08 Jun 2010 06:55

Letzte Änderung:

11 Apr 2024 10:45

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