Quednau, Sebastian and Greiner, P. F. and Schlaak, Helmut F. and Rauber, Markus and Ensinger, Wolfgang and Neumann, Reinhard (2010):
Integration von Nanodrahtarrays in Mikrosysteme für die Gasflusssensorik.
In: GMM Fachbericht 63 "Mikro-Nano-Integration", VDE VERLAG GMBH, In: 2. GMM-Workshop "Mikro-Nano-Integration", Erfurt, 3.-4. März 2010, pp. 159-164, ISSN 1432-3419,
[Online-Edition: urn:nbn:de:tuda-tuprints-21649],
[Conference or Workshop Item]
Abstract
Nanodrähte sind durch ihr großes Oberflächen/Volumen-Verhältnis von hier etwa 1,6·10^7 m²/m³ ein interessantes Untersuchungsobjekt zur Minimierung der Ansprechzeit von Mikrogasflusssensoren. Diese Arbeit beschreibt die Modellierung von Nanodrahtarrays in Gasflüssen. Sie geht auf Temperatursprünge von 1 K bei Gasflüssen < 1 m/s ein. Die Simulationsergebnisse legen nahe, dass bei Nanodrahtarrays Zeitkonstanten von < 10^-3 s und bei einzelnen Nanodrähten um mehr als drei Größenordnungen kleinere Zeitkonstanten möglich sind. Weiterhin beschreibt diese Arbeit einen Prozessablauf zur Integration von Nanodrahtarrays in ein Mikrosystem zur Gasflussanalyse. Die Bündelung von drei Nanodrahtarrays ist experimentell realisiert und vereinfacht die Handhabung bei der Montage. Sie ermöglicht eine beidseitige Kontaktierung der Nanodrahtarrays mit einer planaren Mikrostruktur.
| Item Type: | Conference or Workshop Item | ||||
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| Erschienen: | 2010 | ||||
| Creators: | Quednau, Sebastian and Greiner, P. F. and Schlaak, Helmut F. and Rauber, Markus and Ensinger, Wolfgang and Neumann, Reinhard | ||||
| Title: | Integration von Nanodrahtarrays in Mikrosysteme für die Gasflusssensorik | ||||
| Language: | German | ||||
| Abstract: | Nanodrähte sind durch ihr großes Oberflächen/Volumen-Verhältnis von hier etwa 1,6·10^7 m²/m³ ein interessantes Untersuchungsobjekt zur Minimierung der Ansprechzeit von Mikrogasflusssensoren. Diese Arbeit beschreibt die Modellierung von Nanodrahtarrays in Gasflüssen. Sie geht auf Temperatursprünge von 1 K bei Gasflüssen < 1 m/s ein. Die Simulationsergebnisse legen nahe, dass bei Nanodrahtarrays Zeitkonstanten von < 10^-3 s und bei einzelnen Nanodrähten um mehr als drei Größenordnungen kleinere Zeitkonstanten möglich sind. Weiterhin beschreibt diese Arbeit einen Prozessablauf zur Integration von Nanodrahtarrays in ein Mikrosystem zur Gasflussanalyse. Die Bündelung von drei Nanodrahtarrays ist experimentell realisiert und vereinfacht die Handhabung bei der Montage. Sie ermöglicht eine beidseitige Kontaktierung der Nanodrahtarrays mit einer planaren Mikrostruktur. |
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| Title of Book: | GMM Fachbericht 63 "Mikro-Nano-Integration" | ||||
| Number: | 63 | ||||
| Publisher: | VDE VERLAG GMBH | ||||
| Uncontrolled Keywords: | Mikro-Nano-Integration, Nanodraht, Modellierung Mikrofluss, Finite Volumen Methode, Mikrokontaktierung, Mikromontage | ||||
| Divisions: | 11 Department of Materials and Earth Sciences > Material Science > Material Analytics 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design > Microtechnology and Electromechanical Systems 11 Department of Materials and Earth Sciences > Material Science 11 Department of Materials and Earth Sciences |
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| Event Title: | 2. GMM-Workshop "Mikro-Nano-Integration" | ||||
| Event Location: | Erfurt | ||||
| Event Dates: | 3.-4. März 2010 | ||||
| Date Deposited: | 08 Jun 2010 06:55 | ||||
| Official URL: | urn:nbn:de:tuda-tuprints-21649 | ||||
| Alternative Abstract: |
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