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Visualizing stress in silicon microcantilevers using scanning confocal Raman spectroscopy

Bauer, M. ; Gigler, A. M. ; Richter, C. ; Stark, R. W. :
Visualizing stress in silicon microcantilevers using scanning confocal Raman spectroscopy.
In: Microelectr. Eng., vol. 8 pp 1443-1446.
[Artikel] , (2008)

Typ des Eintrags: Artikel
Erschienen: 2008
Autor(en): Bauer, M. ; Gigler, A. M. ; Richter, C. ; Stark, R. W.
Titel: Visualizing stress in silicon microcantilevers using scanning confocal Raman spectroscopy
Sprache: Englisch
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: Microelectr. Eng.
Band: vol. 8
Fachbereich(e)/-gebiet(e): ?? fb99_csi~fg5 ??
nicht bekannt
Zentrale Einrichtungen
Hinterlegungsdatum: 08 Jun 2010 06:58
ID-Nummer: doi:10.1016/j.mee.2008.01.089
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