Walther, F. ; Heckl, W. M. ; Stark, R. W. (2008)
Evaluation of Nanoscale Roughness Measurements on a Plasma Treated SU-8 Polymer Surface by Atomic Force Microscopy.
In: Applied Surface Science, 254 (22)
doi: 10.1016/j.apsusc.2008.05.323
Artikel, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Artikel |
|---|---|
| Erschienen: | 2008 |
| Autor(en): | Walther, F. ; Heckl, W. M. ; Stark, R. W. |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Evaluation of Nanoscale Roughness Measurements on a Plasma Treated SU-8 Polymer Surface by Atomic Force Microscopy |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 15 September 2008 |
| Verlag: | Elsevier |
| Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | Applied Surface Science |
| Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: | 254 |
| (Heft-)Nummer: | 22 |
| DOI: | 10.1016/j.apsusc.2008.05.323 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | Zentrale Einrichtungen ?? fb99_csi~fg5 ?? |
| Hinterlegungsdatum: | 08 Jun 2010 07:00 |
| Letzte Änderung: | 28 Apr 2020 07:44 |
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