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Hochpräzise optische Profilometrie an Proben mit variierenden Materialien

Jennewein, Holger ; Ganz, T. ; Gottschling, H. ; Tschudi, Theo (1999):
Hochpräzise optische Profilometrie an Proben mit variierenden Materialien.
In: Technisches Messen, 66, pp. 447-454. [Article]

Item Type: Article
Erschienen: 1999
Creators: Jennewein, Holger ; Ganz, T. ; Gottschling, H. ; Tschudi, Theo
Title: Hochpräzise optische Profilometrie an Proben mit variierenden Materialien
Language: German
Journal or Publication Title: Technisches Messen
Journal volume: 66
Divisions: 05 Department of Physics
Date Deposited: 19 Nov 2008 15:59
License: [undefiniert]
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