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Hochpräzise optische Profilometrie an Proben mit variierenden Materialien

Jennewein, Holger ; Ganz, T. ; Gottschling, H. ; Tschudi, Theo :
Hochpräzise optische Profilometrie an Proben mit variierenden Materialien.
In: Technisches Messen, 66 pp. 447-454.
[Artikel], (1999)

Typ des Eintrags: Artikel
Erschienen: 1999
Autor(en): Jennewein, Holger ; Ganz, T. ; Gottschling, H. ; Tschudi, Theo
Titel: Hochpräzise optische Profilometrie an Proben mit variierenden Materialien
Sprache: Deutsch
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: Technisches Messen
Band: 66
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Physik
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 15:59
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