Berberich, Stephan (2000)
SiC Processing technology for fabricating MOSFET devices and micromachined condenser microphones.
Technische Universität Darmstadt
Dissertation, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Dissertation |
|---|---|
| Erschienen: | 2000 |
| Autor(en): | Berberich, Stephan |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | SiC Processing technology for fabricating MOSFET devices and micromachined condenser microphones |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 2000 |
| Ort: | Aachen |
| Verlag: | Shaker |
| Kollation: | XVIII,152 S. |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik |
| Hinterlegungsdatum: | 19 Nov 2008 15:54 |
| Letzte Änderung: | 05 Mär 2013 08:29 |
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