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SiC Processing technology for fabricating MOSFET devices and micromachined condenser microphones

Berberich, Stephan :
SiC Processing technology for fabricating MOSFET devices and micromachined condenser microphones.
Shaker , Aachen
[Dissertation]

Typ des Eintrags: Dissertation
Erschienen: 2000
Autor(en): Berberich, Stephan
Titel: SiC Processing technology for fabricating MOSFET devices and micromachined condenser microphones
Sprache: Englisch
Ort: Aachen
Verlag: Shaker
Kollation: XVIII,152 S.
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 15:54
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