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Relationship of chemical and structural properties with the tribological behavior of sputtered SiCN films

Hoche, Holger ; Allebrandt, D. ; Bruns, M. ; Riedel, R. ; Fasel, C. :
Relationship of chemical and structural properties with the tribological behavior of sputtered SiCN films.
In: Surface & coatings technology, 202 (22-23) pp. 5567-5571. ISSN 0257-8972
[Artikel], (2008)

Typ des Eintrags: Artikel
Erschienen: 2008
Autor(en): Hoche, Holger ; Allebrandt, D. ; Bruns, M. ; Riedel, R. ; Fasel, C.
Titel: Relationship of chemical and structural properties with the tribological behavior of sputtered SiCN films
Sprache: Deutsch
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: Surface & coatings technology
Band: 202
(Heft-)Nummer: 22-23
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Maschinenbau
Fachbereich Maschinenbau > Werkstoffkunde
Hinterlegungsdatum: 15 Sep 2009 10:30
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