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The scanning tunneling microscope as a tool for nanolithography: writing nanostructures on Si (110) in air

Urban, J. ; Bräuer, ; McKinnon, ; Horn, ; Hjort, ; Pagnia, ; Koops, ; Hartnagel, :
The scanning tunneling microscope as a tool for nanolithography: writing nanostructures on Si (110) in air.
In: Microelectronic engineering. 27 (1995), S. 113-116
[Artikel], (1995)

Typ des Eintrags: Artikel
Erschienen: 1995
Autor(en): Urban, J. ; Bräuer, ; McKinnon, ; Horn, ; Hjort, ; Pagnia, ; Koops, ; Hartnagel,
Titel: The scanning tunneling microscope as a tool for nanolithography: writing nanostructures on Si (110) in air
Sprache: Englisch
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: Microelectronic engineering. 27 (1995), S. 113-116
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 15:58
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