Urban, J. ; Bräuer, ; McKinnon, ; Horn, ; Hjort, ; Pagnia, ; Koops, ; Hartnagel, (1995)
The scanning tunneling microscope as a tool for nanolithography: writing nanostructures on Si (110) in air.
In: Microelectronic engineering. 27 (1995), S. 113-116
Artikel, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Artikel |
|---|---|
| Erschienen: | 1995 |
| Autor(en): | Urban, J. ; Bräuer, ; McKinnon, ; Horn, ; Hjort, ; Pagnia, ; Koops, ; Hartnagel, |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | The scanning tunneling microscope as a tool for nanolithography: writing nanostructures on Si (110) in air |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 1995 |
| Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | Microelectronic engineering. 27 (1995), S. 113-116 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrowellenelektronik |
| Hinterlegungsdatum: | 19 Nov 2008 15:58 |
| Letzte Änderung: | 20 Feb 2020 13:32 |
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