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Structural and Electrical Characterization of Dielectrics, Carbon Nanotubes and Nanoelectronic Devices by Means of Scanning Probe Microscopy

Schwalke, Udo (2007)
Structural and Electrical Characterization of Dielectrics, Carbon Nanotubes and Nanoelectronic Devices by Means of Scanning Probe Microscopy.
In: ECS Transactions, 10 (1)
Artikel, Bibliographie

Typ des Eintrags: Artikel
Erschienen: 2007
Autor(en): Schwalke, Udo
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: Structural and Electrical Characterization of Dielectrics, Carbon Nanotubes and Nanoelectronic Devices by Means of Scanning Probe Microscopy
Sprache: Englisch
Publikationsjahr: 14 September 2007
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: ECS Transactions
Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: 10
(Heft-)Nummer: 1
Veranstaltungstitel: The Electrochemical Society Symposium "Analytical Techniques for Semiconductor Materials and Process Characterization" (ECS-ALTECH)
Veranstaltungsort: München, Deutschland
Veranstaltungsdatum: 13.-14.09.2007
URL / URN: http://dx.doi.org/10.1149/1.2773983
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Halbleitertechnik und Nanoelektronik
Hinterlegungsdatum: 20 Nov 2008 08:28
Letzte Änderung: 20 Feb 2020 13:23
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