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Herstellung und Charakterisierung amorpher SiCN-Schichten unter technologischen Aspekten in Hinblick auf tribologische Beanspruchung

Allebrandt, Daniel :
Herstellung und Charakterisierung amorpher SiCN-Schichten unter technologischen Aspekten in Hinblick auf tribologische Beanspruchung.
Shaker , Aachen
[Dissertation]

Typ des Eintrags: Dissertation
Erschienen: 2008
Autor(en): Allebrandt, Daniel
Titel: Herstellung und Charakterisierung amorpher SiCN-Schichten unter technologischen Aspekten in Hinblick auf tribologische Beanspruchung
Sprache: Deutsch
Band: 2008,5
Ort: Aachen
Verlag: Shaker
Kollation: IV, 185 S. : Ill., graph. Darst.
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Maschinenbau
Hinterlegungsdatum: 20 Nov 2008 08:28
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