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Microwave FBAR structures fabricated using micromachined GaN membranes

Neculoiu, D. ; Konstantinidis, G. ; Müller, A. ; Kostopoulos, A. ; Vasilache, D. ; Mutamba, Kabula ; Sydlo, Cezary ; Hartnagel, Hans L. ; Bary, L. ; Plana, R. :
Microwave FBAR structures fabricated using micromachined GaN membranes.
In: Proceedings of the 2007 IEEE MTT-S International Microwave Symposium, Honolulu, Hawai, June 3-8, 2007 .
[Konferenz- oder Workshop-Beitrag], (2007)

Typ des Eintrags: Konferenz- oder Workshop-Beitrag (Keine Angabe)
Erschienen: 2007
Autor(en): Neculoiu, D. ; Konstantinidis, G. ; Müller, A. ; Kostopoulos, A. ; Vasilache, D. ; Mutamba, Kabula ; Sydlo, Cezary ; Hartnagel, Hans L. ; Bary, L. ; Plana, R.
Titel: Microwave FBAR structures fabricated using micromachined GaN membranes
Sprache: Deutsch
Reihe: Proceedings of the 2007 IEEE MTT-S International Microwave Symposium, Honolulu, Hawai, June 3-8, 2007
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Hinterlegungsdatum: 20 Nov 2008 08:28
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