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Deposition temperature effect on the structure and optical property of RF-PACVD-derived hydrogenated SiCNO film

Zhou, Y. ; Yan, X. ; Kroke, E. ; Riedel, R. ; Probst, D. ; Thissen, A. ; Hauser, R. ; Ahles, Marcus ; von Seggern, Heinz :
Deposition temperature effect on the structure and optical property of RF-PACVD-derived hydrogenated SiCNO film.
In: Materialwissenschaft und Werkstofftechnik, 37 pp. 173-177.
[Artikel], (2006)

Typ des Eintrags: Artikel
Erschienen: 2006
Autor(en): Zhou, Y. ; Yan, X. ; Kroke, E. ; Riedel, R. ; Probst, D. ; Thissen, A. ; Hauser, R. ; Ahles, Marcus ; von Seggern, Heinz
Titel: Deposition temperature effect on the structure and optical property of RF-PACVD-derived hydrogenated SiCNO film
Sprache: Englisch
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: Materialwissenschaft und Werkstofftechnik
Band: 37
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Maschinenbau
Hinterlegungsdatum: 20 Nov 2008 08:26
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