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Formation of conducting nanochannels in diamond-like carbon films

Evtukh, A. ; Litovchenko, V. ; Semenenko, M. ; Yilmazoglu, O. ; Mutamba, K. ; Hartnagel, H. ; Pavlidis, D. :
Formation of conducting nanochannels in diamond-like carbon films.
In: Semiconductor Science and Technology, 21 S. 1326-1330.
[Artikel] , (2006)

Typ des Eintrags: Artikel
Erschienen: 2006
Autor(en): Evtukh, A. ; Litovchenko, V. ; Semenenko, M. ; Yilmazoglu, O. ; Mutamba, K. ; Hartnagel, H. ; Pavlidis, D.
Titel: Formation of conducting nanochannels in diamond-like carbon films
Sprache: Englisch
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: Semiconductor Science and Technology
Band: 21
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrowellenelektronik
Hinterlegungsdatum: 20 Nov 2008 08:26
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